Occasion LAM RESEARCH Alliance A4 #9195947 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A4 est un équipement de graveur/asher conçu pour fournir des solutions de gravure avancées pour la fabrication de divers types de dispositifs semi-conducteurs. Ce système est équipé de deux chambres de traitement à plasma commandables indépendamment, la chambre principale contenant une source plane et une chambre auxiliaire utilisée pour le nettoyage in situ et/ou des traitements de gravure supplémentaires. La source planaire fournit une excellente uniformité de la densité du plasma, permettant une gravure précise des dispositifs semi-conducteurs avec une grande précision et répétabilité. En outre, l'unité est équipée d'une chambre de refroidissement réactionnel, qui assure un contrôle thermique optimal pendant le processus de gravure. Alliance A4 utilise une source unique de plasma haute densité, qui est capable de produire une densité de plasma uniforme sur la surface de la plaquette. Ceci permet au plasma d'atteindre toute la surface de la plaquette pendant le processus de gravure, ce qui entraîne une gravure arquée élevée et une grande uniformité de la plaquette. De plus, LAM RESEARCH Alliance A4 utilise iVPD™ MassFlow™, une technologie brevetée de régulateur de débit massique qui régule les gaz de procédé et optimise la distribution de l'graveur à la surface de la plaquette. Ceci assure une vitesse de gravure précise du matériau et un contrôle précis de l'épaisseur tout au long du processus de gravure. Alliance A4 dispose également d'une machine de transport de plaquettes intégrée qui transporte les plaquettes entre la chambre principale et la chambre auxiliaire pour le nettoyage et les traitements de gravure supplémentaires. La chambre auxiliaire est équipée d'une deuxième source de gravure haute densité ainsi que d'une source de fréquence supplémentaire, qui peut être utilisée pour la gravure, le nettoyage ou l'amorçage supplémentaires de la plaquette. L'outil de transport intégré assure un alignement précis de la plaquette et une manipulation optimale de la plaquette, permettant des performances de gravure constantes de haute qualité. LAM RESEARCH Alliance A4 est conçu pour répondre à un large éventail d'exigences de procédé et convient à diverses applications de gravure, y compris la gravure ionique réactive profonde (DRIE), la gravure plasma et la passivation de surface. En outre, il dispose d'une gamme de capacités avancées de contrôle des processus, y compris la surveillance avancée des processus, le diagnostic à chambre distante (RCD), et un moniteur de puissance RF avec rétroaction en temps réel. La combinaison de ces fonctionnalités avancées permet un contrôle maximal du processus et des performances de traitement fiables.