Occasion LAM RESEARCH Alliance A6 9100 PTX #9309385 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A6 9100 PTX est un graveur/asher qui peut être utilisé dans plusieurs applications de traitement de plaquettes dans les technologies semi-conductrices, MEMS/MOEMS et optiques. Le A6 9100 PTX est conçu pour fournir une gravure plus propre avec un débit plus élevé et une productivité améliorée. Le système est équipé d'une cassette de prétraitement rapide et fiable qui offre plusieurs options de filaments, ce qui permet aux utilisateurs de varier le matériau cible du filament et la taille en fonction de l'application spécifique. Le A6 9100 PTX est également équipé de deux (2) ports de chargement indépendants pour faciliter le chargement et le déchargement efficaces pour une production à plus grande échelle. L'architecture flexible de l'A6 9100 PTX permet l'échange de technologies de processus multiples avec jusqu'à deux (2) chambres pouvant être configurées pour la gravure ou l'ashing. Le système A6 9100 PTX peut être chargé avec jusqu'à 3 substrats pour la gravure et l'ashing, avec la taille du substrat allant de 200mm à 300mm. La capacité d'auto-centre de l'A6 9100 PTX assure l'alignement précis des substrats avec les supports de substrats, réduisant le risque d'erreurs de centrage. De plus, le A6 9100 PTX est conçu pour minimiser la production de particules et est classé ULPA à un minimum de 15 unités de masse atomique à 0,3 microns. Le PTX A6 9100 intègre également un épurateur à azote automatisé de 100 heures pour permettre des performances de gravure cohérentes sur le long terme. De plus, la température de gravure peut être contrôlée avec précision et mesurée à une précision de +/- 2 ° C. Le logiciel de diagnostic intégré permet également un contrôle et une validation des processus extrêmement précis. Le PTX A6 9100 comprend une interface utilisateur intégrée pour le contrôle et la surveillance du système, accessible directement à partir du clavier de la machine ou à distance à partir d'un navigateur web standard. Grâce à l'interface utilisateur intégrée, les utilisateurs peuvent facilement surveiller la pression, la masse, la température et d'autres paramètres critiques du processus de gravure et d'ashing. Le PTX A6 9100 comprend également une bibliothèque complète de recettes pour la gravure de différents matériaux et substrats avec des paramètres optimisés pour obtenir des résultats de la plus haute qualité. En résumé, Alliance A6 9100 PTX est un graveur/asher haute performance qui est construit avec la flexibilité, l'efficacité et le contrôle de la qualité à l'esprit. Capable de traiter jusqu'à 3 substrats avec une plage de taille de 200mm - 300mm, la cassette de prétraitement intégrée de l'A6 9100 PTX, les capacités d'auto-centrage et l'interface utilisateur complète en font un outil fiable et précis pour la gravure et l'ashing.