Occasion LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM #121362 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM est un appareil idéal pour graver et aspirer une variété de substrats. Ce graveur/asher haute performance offre la capacité de graver et cacher jusqu'à neuf plaquettes 1000 mm x 400 mm à la fois, avec une alimentation RF 1800 W. En outre, il dispose d'un écran tactile de 19 "avec une interface moderne et conviviale qui prend en charge le contrôle avancé des processus. Le système a une nacelle de charge/déchargement supplémentaire avec un bras réglable, ce qui signifie que les substrats peuvent être placés sur l'appareil avec précision et facilité. Il dispose également d'un puissant réseau d'appariement RF avec appariement réglable, permettant d'excellentes performances de gravure même à haute fréquence. LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM est équipé de la capacité avancée de gravure en mode flux dynamique (DFM) de LAM, permettant un contrôle précis des angles de flanc et de la profondeur de gravure du fond. Il en résulte un profil de gravure plus complet avec une réduction de la conicité et moins de surimpression. Cet etcher/asher offre également une suite complète de procédés de chimie des gaz avec séquençage flexible des gaz, et les options de profilage des procédés permettent des performances similaires sur différents matériaux de substrat. De plus, le réseau de tête de douche à haut débit assure une uniformité de gravure constante. La chambre de recirculation réfrigérée de l'appareil dispose d'une capacité de surpression complète, ce qui la rend idéale pour les applications de gravure sous vide/ashing. Pour plus de commodité, Alliance A6 9400 DFM offre également la surveillance à distance et le contrôle des processus, permettant aux utilisateurs de gérer le système à distance et de recevoir des rapports de processus détaillés. Enfin, ses caractéristiques de sécurité améliorées le rendent conforme aux dernières lignes directrices de sécurité et à la réglementation sur les marques CE. ALLIANCE A6 9400DFM est un graveur/asher impressionnant qui permet aux utilisateurs d'obtenir des résultats de gravure et d'ashing fiables et cohérents avec un contrôle et une précision avancés. Cette combinaison de fonctionnalités puissantes, d'interface conviviale et de capacités de processus en font un excellent choix pour ceux qui cherchent à graver ou à cendre une variété de substrats.