Occasion LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM #198258 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 198258
Poly Etcher, 8"
(3) Chamber modules to include:
(1) Model 9400PTX
(2) Model 9400DFM
(3) LAM Enhanced Research Lab Gas Boxes
(1) Control Rack with Noah Precision Models PSC-8000 and PSC-4400 Modules
(2) Edwards Dry Pump Systems
Software: Envision
Platform: Alliance A6
Process: poly
Process modules: DFM
Gas box style: external orbital gas box individual door
Interface: front and rear
Main frame: though the wall bulkhead
Transport module spec:
Robot: Mag 7
End effector: standard stainless steel
Load lock: Brooks automatic
Station 6: Aligner
Process module 1:
Process: poly etch
Process module: DFM
Turbo: Edwards 1600 seiko seiki
Manometer: heated single 10 torr manometer
Vat valve: vat 65 heated
Rf match: standard TCP extended range match
Coil: standard 8" coil
Chuck: E-chuck standard bi-polar
Rf generator: Halo 1250
Endpoint: verity end point
No interferometer
Pump ballast Aov85: yes
Backside He manometers present
Gas lines: non heated
Process module 2
Process: poly etch
Process module: DFM
Turbo: Alcatel 1600m
Manometer: heated single 10 torr manometer
Vat valve: vat 65 heated
Rf match: standard tcp exteneded range match
Coil: standard 8" coil
Chuck: E-chuck standard bi-polar
Rf generator: Halo 1250
Endpoint: verity end point
No interferometer
Pump ballast Aov85: yes
Backside He manometers: present
Gas lines: non heated
Process module 3
Process: poly etch
Process module: DFM
Turbo: Alcatel 1600m
Manometer: heated single 10 torr manometer
Vat valve: vat 65 heated
Rf match: standard tcp exteneded range match
Coil: standard 8" coil
Chuck: E-chuck standard bi-polar
Rf generator: Halo 1250
Endpoint: verity end point
No interferometer
Pump ballast Aov85: yes
Backside He manometers: present
Gas lines: non heated
Pumps
Edwards IQDP 80/500
Chiller Noah solid state
Gas box
Mfc
Unit series with metal seals
Includes:
Gib options
STD Stacking kit
Gas box mounting location: remote
Quick clean kit
TCU hosing: 50ft
TCU configuration: Noah solid state
Operating temperature: 60 - 80c
Tm exhaust: upper
2002 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM est un graveur/asher de pointe de l'industrie. La machine est conçue pour différentes configurations et dispose d'une flexibilité d'équipement supérieure avec l'ajout de deux modules de processus indépendants, permettant une gravure précise des composants et des plaquettes avec une excellente répétabilité des caractéristiques. Son outil de dépôt horizontal avec un excellent contrôle d'homogénéité est un outil idéal pour la gravure précise ou la cueillette de plaquettes dans la production de dispositifs semi-conducteurs. LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM etcher/asher est capable de graver et d'aspirer des plaquettes à grande vitesse en un seul processus. Il est capable de contrôler le processus de gravure avec une vitesse de surveillance de consigne (MPS) qui est précise à 0,05 µm/s près pour la meilleure répétabilité possible. En outre, la machine comprend des logiciels de pointe et des fonctions de contrôle de la qualité qui permettent de surveiller en temps réel le processus de gravure et d'assurer une uniformité maximale. Alliance A6 9400 DFM est conçu avec des outils de dépôt à haut rendement et des systèmes avancés e-beam et ICP source avec des capacités de filtration puissantes, ce qui lui permet d'être extrêmement efficace et de fournir des résultats de haute qualité. Les capacités matérielles avancées telles que la capture de données en temps réel et l'enregistrement des paramètres du processus améliorent la répétabilité. Le système de contrôle de couche offre des capacités de contrôle d'uniformité et de diagnostic en temps réel qui en font un excellent choix pour divers processus de gravure haut de gamme. ALLIANCE A6 9400DFM etcher/asher offre également une variété de modules de processus et d'options qui permettent de l'adapter à diverses applications. Grâce au détecteur de fuites avancé et au module de protection des plaquettes, l'unité de protection avancée de la grille et de la chambre offre une protection maximale et une fiabilité à vie. En outre, la machine dispose également de diagnostics intégrés de machine pour assurer un entretien efficace et efficient. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM est un graveur/asher avancé, fiable et flexible qui offre un contrôle, une répétabilité et une précision supérieures. Ses systèmes de haute puissance e-beam et ICP source lui donnent d'excellentes capacités de filtration et de contrôle des processus, ce qui en fait un excellent choix pour diverses applications de production de dispositifs semi-conducteurs. Son modèle avancé de diagnostic des actifs et de détection des fuites garantit une protection maximale et une longue durée de vie. Par conséquent, LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM est un excellent choix pour contrôler et reproduire gravure, cendre, et divers autres procédés de fabrication d'appareils.
Il n'y a pas encore de critiques