Occasion LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM #9027019 à vendre en France
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Vendu
ID: 9027019
Poly etcher
Software version: A2.1.1-009
Main body: Alliance 6
Process module 1: Alliance stripper
Process module 2: 9400 DFM
Process module 3: 9400 DFM
Process module 4: Alliance stripper
Monitor rack: Alliance PC and T-box, Japanese type (mm screw)
Chiller: Risshi EX-2004
UPS: Nemic Lambda PS 1210
Turbo pump and controller:
PM-2 turbo pump: Alcatel ATH-1600M
PM-2 controller: Alcatel ATC-1300M/1600M
PM-3 turbo pump: Alcatel ATH-1600M
PM-3 controller: Alcatel ATC-1300M/1600M
Dry pump:
Transfer module: Edwards iQDP80
Loadlock: Edwards iQDP80
PM-1: Edwards iQDP80 / QMB500F
PM-2: Edwards iQDP80
PM-3: Edwards iQDP80
PM-4: Edwards iQDP80 / QMB500
RF generator:
PM-2 top: Advanced Energy RFDS
PM-2 bottom: Advanced Energy RFG1250 Halo
PM-3 top: Advanced Energy RFDS
PM-3 bottom: Advanced Energy RFG1250 Halo
MFC:
PM-1:
Gas 1: AERA, FC-D980C, 02, 5000 SCCM
Gas 2: AERA, FC-D980C, N2, 1000 SCCM
PM-2:
Gas 1: AERA, FC-D980C, Cl2, 200 SCCM
Gas 2: AERA, FC-D980C, HBr, 500 SCCM
Gas 3: AERA, FC-D980C, O2, 10 SCCM
Gas 4: AERA, FC-D980C, He, 200 SCCM
Gas 5: AERA, FC-D980C, SF6, 200 SCCM
Gas 6: AERA, FC-D980C, O2, 200 SCCM
Gas 7: AERA, FC-D980C, CF4, 200 SCCM
Gas 8: AERA, FC-D980C, CHF3, 200 SCCM
PM-3:
Gas 1: AERA, FC-D980C, Cl2, 200 SCCM
Gas 2: AERA, FC-D980C, HBr, 500 SCCM
Gas 3: AERA, FC-D980C, O2, 10 SCCM
Gas 4: AERA, FC-D980C, He, 200 SCCM
Gas 5: AERA, FC-D980C, SF6, 200 SCCM
Gas 6: AERA, FC-D980C, O2, 200 SCCM
Gas 7: AERA, FC-D980C, CF4, 200 SCCM
Gas 8: AERA, FC-D980C, CHF3, 200 SCCM
PM-4:
Gas 1: SAM, SFC480E, O2, 5000 SCCM
Gas 2: AERA, FC-D980C, N2, 1000 SCCM
2001 vintage.
LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM etcher/asher est un outil de gravure avancé utilisé pour l'application de motifs en couches minces de matériaux tels que métaux, verres, matériaux diélectriques ou photorésistes. Il permet le dépôt et la gravure structurés de tout matériau ou substrat sur un large éventail de procédés spécifiques. LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM utilise la lithographie par faisceau électronique en écriture directe, la gravure ionique réactive (RIE), l'inspection visuelle, le traitement par grappes thermiques sous vide (VTC) et la technologie de traitement des flammes pour le processus de gravure et de dépôt des produits. L'outil fonctionne en focalisant un faisceau d'électrons sur le matériau à modeler. Cela provoque la fusion du matériau dans de nombreuses zones très petites, ce qui conduit à un patron de gouttelettes. Après cela, il se produit un processus de gravure chimique qui provoque l'étalement des gouttelettes sur le matériau, créant un modèle de caractéristiques de taille nanométrique. Après la création du motif, le processus de gravure ionique réactive (RIE) est utilisé pour affiner et nettoyer le motif. Il s'agit d'utiliser un champ électrique pour propulser des ions réactifs au niveau du matériau du substrat, en éliminant des taches très localisées, qui sont ensuite nettoyées par l'utilisation d'un autre type de traitement sous vide, de traitement de la flamme et de contrôle visuel. Alliance A6 9400 DFM est un graveur/asher extrêmement précis qui est construit pour une performance et un contrôle optimaux. Il est capable de produire des motifs jusqu'à 10 nanomètres et est utilisé dans un large éventail d'industries telles que la fabrication de semi-conducteurs, la production de MEMS et le dépôt de couches minces. L'outil est également capable de soutenir des processus spécialisés tels que la polarisation, le micromachining, la densification et le formage de nanofils, ce qui en fait un choix idéal pour une variété d'emplois complexes. ALLIANCE A6 9400DFM est équipé d'un système de correction d'image, permettant un délire balistique précis et la résolution de caractéristiques aussi petites qu'un nanomètre. L'outil comprend également une variété de fonctionnalités avancées telles qu'un programme de réticules automatisé, le traitement de grappes thermiques sous vide (VTC), et le contrôle in situ d'algorithmes basés sur PC. LAM RESEARCH Alliance A6 9400 DFM est extrêmement convivial et son interface de programmation intuitive facilite le fonctionnement et la modification des processus de gravure. LAM RESEARCH ALLIANCE A6 9400DFM etcher/asher est un outil avancé et précis utilisé pour appliquer des motifs précis en couches minces sur divers matériaux. Ses capacités et ses fonctionnalités avancées en font un choix idéal pour des applications privées ou commerciales dans les secteurs de la microélectronique, des semi-conducteurs et des MEMS. Alliance A6 9400 DFM etcher/asher est un outil extrêmement convivial dont l'interface de programmation intuitive et les fonctionnalités avancées rendent le processus de gravure plus efficace et précis.
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