Occasion LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9038352 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A6 9400 est un graveur/asher, un type d'équipement de dépôt de pulvérisateurs. Le système utilise la puissance radio-fréquence (RF) couplée de façon capacitive pour pulvériser des couches minces de métal sur un substrat. Alliance A6 9400 est une unité à haut débit capable de produire des revêtements de film uniformes à des cadences élevées. La machine est une configuration à deux chambres, avec une alimentation RF, un plasma inerte et une chambre à vide. La chambre de graveur abrite les électrodes RF, qui sont reliées à l'alimentation RF. La puissance RF dans la chambre est commandée par l'alimentation et ajustée aux paramètres de gravure désirés selon le procédé de gravure désiré. Le plasma inerte est activé dans la chambre et sert à activer les ions métalliques dans les gaz réactifs. Les matériaux sont pulvérisés sur le substrat à la suite d'un bombardement ionique, et la puissance RF est ajustée pour favoriser un dépôt uniforme du film métallique pulvérisé. La chambre à vide offre un environnement pour le processus de dépôt à basse pression, et les deux chambres sont reliées pour maintenir un différentiel de pression entre la gravure et la chambre à vide. LAM RESEARCH Alliance A6 9400 est équipée d'un outil d'imagerie multi-capteurs avancé pour surveiller la croissance du film pendant le processus de gravure. Les images prises peuvent être utilisées pour la surveillance des processus et le dépannage, ainsi que pour fournir un affichage visuel de l'uniformité du revêtement. L'actif est également équipé d'un contrôle de processus en boucle ouverte pour fournir une rétroaction sur la vitesse de gravure et l'uniformité du revêtement. Alliance A6 9400 est une gravure/asher adaptable à haut débit capable de produire des films avec de superbes performances. Sa conception avancée en deux chambres, le contrôle des processus en boucle ouverte et le modèle d'imagerie permettent à l'utilisateur de contrôler avec précision le processus de dépôt et d'obtenir les résultats souhaités.