Occasion LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9050180 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A6 9400 est un équipement de graveur/asher haute performance spécialement conçu pour la gravure et le cendrage précis. Il est adapté au traitement de matériaux sensibles à la température tels que le silicium, les composés SiO2, II-VI, les composés diélectriques bas k et les composés III-V. Le système est hautement configurable et est livré avec une large gamme de sources rf et de sources de gaz de traitement qui lui permettent de traiter des plaquettes de différentes dimensions. L'unité est équipée d'un module de serrure, d'une chambre thermique, d'un mandrin intégré, d'un dispositif de chauffage à plusieurs zones et d'une pompe à vide. Le module de serrure comprend une chambre de charge avec chargeur automatique et machine à décharger, un outil de focalisation de substrat dans la chambre de charge, et un atout d'échappement avec un panneau de gaz intégré et un ventilateur d'échappement. La chambre thermique comprend une chambre séparée et un module de chauffage. Le module de chauffage est capable de maintenir la température de la chambre à un état souhaité constant. Ceci est essentiel pour éviter que les plaquettes ne se dégradent lors des températures de traitement. Le mandrin intégré du substrat élimine le besoin de chargement et de déchargement manuel des substrats. Cette automatisation contribue à améliorer l'uniformité et la reproductibilité des gravures. Le modèle est alimenté par une armoire électronique spécialement conçue et fonctionne à l'aide d'une interface graphique tactile. L'interface graphique fournit une gamme de fonctionnalités telles que la création de recettes, l'affichage de données en temps réel, l'accord de source d'ions, et l'affichage de la pression de chambre. Il permet également le contrôle programmable des processus depuis une station centralisée. L'équipement est également intégré au module de contrôle des processus adaptatifs (APC) et aux systèmes de confinement des procédés avancés (APC). Le module APC permet d'ajuster automatiquement les paramètres du processus de gravure en fonction des données de rétroaction de mesure, assurant ainsi des résultats cohérents avec la plus grande précision. Le système APC aide à minimiser l'impact de la dérive et de la variation des processus. Alliance A6 9400 est une unité de graveur/asher de pointe offrant une précision et une polyvalence inégalées. Il est conçu pour fournir une précision et des performances optimales dans les conditions de gravure et d'ashing les plus exigeantes. Ses fonctionnalités avancées d'automatisation et de contrôle en font un outil essentiel pour toute application de gravure ou d'ashing.