Occasion LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9132995 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A6 9400
ID: 9132995
DFM chamber.
LAM RESEARCH Alliance A6 9400 est un graveur/asher conçu pour le traitement à haut volume de substrats avancés. C'est un outil polyvalent pour la gravure, le dépôt, le strippage et l'oxydation. Il est capable de traiter une grande variété de matériaux, y compris des films céramiques, des métaux et des plaquettes de silicium. Le A6 9400 est équipé d'une technologie avancée de contrôle du vide, de contrôle thermique et de source de plasma pour des processus de gravure et de dépôt optimisés. Une gamme de pressions de vide et de températures de substrat peut être appliquée au substrat pour assurer les meilleurs résultats de gravure et de dépôt. Le profil de gravure est contrôlé et optimisé à l'aide d'anneaux de gaz haut de gamme et de contrôle de débit. Il a également une conception avancée de porte-substrat pour le chargement et le déchargement facile des substrats. L'équipement est équipé d'une gamme d'accessoires en option, tels qu'une source de chaleur avec un système de contrôle thermique en boucle fermée, des panneaux de gaz configurables et un moniteur de vitesse de gravure. Cela permet aux utilisateurs de personnaliser l'unité pour leur application particulière. La machine peut également être mise à niveau avec la source de plasma avancé XRP 4.1 pour un meilleur traitement. En termes de fonctionnement, l'interface utilisateur est conviviale et permet une configuration, une surveillance et un contrôle faciles des processus de gravure et de dépôt. Il comprend également une protection sécurisée par mot de passe pour s'assurer que les utilisateurs ne peuvent pas accéder à l'outil sans autorisation. L'actif est soutenu par un « moniteur de santé » avancé qui surveille en permanence l'etcher/asher pour s'assurer de la performance du processus. Cela aide les utilisateurs à détecter et corriger rapidement tout problème de performance. Une variété de caractéristiques de sécurité sont également à bord pour assurer le fonctionnement sûr du modèle. Alliance A6 9400 est une solution de gravure et de dépôt efficace pour les substrats avancés. Il offre une interface utilisateur intuitive, des capacités de traitement polyvalentes et des performances fiables. Avec des accessoires en option et des mises à niveau, il peut être adapté à des applications spécifiques.
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