Occasion LAM RESEARCH Alliance A6 9400 #9296416 à vendre en France
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LAM RESEARCH Alliance A6 9400 est un graveur/asher avancé conçu pour gérer un large éventail de tâches pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il utilise des technologies brevetées pour offrir un contrôle supérieur des processus, un débit accru et des rendements améliorés pour les processus de gravure et d'ashing. La série A6 9400 est capable de supporter la gamme complète des exigences de processus de gravure/cendres avec une capacité de 100 cm2 de plaquettes. Le A6 9400 est un graveur/asher robuste de grande taille avec plusieurs fonctions automatisées pour assurer la précision et l'uniformité du processus. Il utilise la technologie DOGD (Dry Operated Gas Delivery) pour contrôler le débit de gaz avec précision avec des vannes de commande numériques. Ceci fournit un environnement gazeux propre et stable pour les processus de gravure. Il comprend également un thermocouple intégré sans contact pour un contrôle précis de la température. Il utilise également un équipement de rinçage rapide pour réduire le temps de traitement des échantillons. Le A6 9400 dispose d'une configuration de système haute vitesse pour augmenter le débit et réduire le temps de gravure. Cela comprend un générateur RF haute résolution de 300 watts pour améliorer le masquage et la gravure, une unité d'accord laser rapide et de haute précision pour améliorer l'homogénéité du champ plasma et une technologie de balayage à grande vitesse pour optimiser la mise en forme des faisceaux. La machine comprend également des capacités avancées de contrôle informatique et de stockage de recettes pour la répétabilité et la traçabilité des données. Le A6 9400 est conçu pour être facile à configurer et à utiliser, avec un outil d'exploitation intuitif et un panneau de contrôle tactile. L'actif peut être facilement configuré pour répondre aux exigences spécifiques de gravure/cendres, avec des paramètres et paramètres personnalisables. Il comprend des dispositifs de sécurité complets, y compris la protection des sas de passage, la métrologie en temps réel avec une limite d'exposition ajustable et un modèle de surveillance atmosphérique. Alliance A6 9400 est un graveur/asher fiable et avancé, conçu pour fournir un contrôle de processus supérieur, un rendement et un débit accrus, et un fonctionnement facile. Il utilise des technologies brevetées et des fonctionnalités personnalisables pour répondre à un large éventail d'exigences de gravure/cendres pour la fabrication efficace de dispositifs semi-conducteurs.
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