Occasion LAM RESEARCH Alliance A6 9600 #9354470 à vendre en France
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ID: 9354470
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8"
Install type: Through the wall
Integrated gas panel
No SMIF
PM 1: Microwave
PM 2: 9600 PTX
PM 3: 9600PTX
PM 4: Microwave
PM 5: Aligner
PM 6: Cool station
Electrostatic chuck
On process turbo pump channels
VAT65 Turbo gate valve
Endpoint detection system
Photodiode endpoint
End point 1 P/N: 853-540066-011
CD Rom manuals
Alliance mainframe:
MAG7 Robot
Dual blade
Rotational VCE6 with dynamic seal
Signal lamp tower
Gate valve: Heated (PM2, PM3)
Turbo pump (PM2 and PM3):
SEIKO SEIKI H1303CV3 Turbo pump
RF / Microwave generator:
MKS CPS PM 1 Top
ADVANCED ENERGY RFG 1250 PM 2 Top
ADVANCED ENERGY RFG1250 HALO PM 2 Bottom
ADVANCED ENERGY RFG 1250 PM 3 Top
ADVANCED ENERGY RFG 1250 HALOPM 3 Bottom
MKS CPS PM 4 Top
Chiller:
One/Two cooling channels
Quantity: Up to 4
Gas box configuration:
PM1:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 1000 / N2
3 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 5000 / O2
PM2:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / STEC / - / - / BCL3
2 / STEC / - / - / CL2
3 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 200 / N2
4 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 200 / O2
5 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 100 / CHF3
6 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 50 / AR
PM3:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / TYLAN / FC-2900MEP5 / 200 / BCL3
2 / TYLAN / FC-2900MEP5 / 200 / CL2
3 / TYLAN / FC-2900MEP5 / 200 / N2
4 / TYLAN / FC-2900M / 200 / O2
5 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 100 / CHF3
6 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 50 / AR
PM4:
Gas line / Make / Model / Flow (SCCM) / Gas
1 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 1000 / N2
3 / TYLAN / FC-2950MEP5 / 5000 / O2
No standard manuals.
LAM RESEARCH Alliance A6 9600 est un équipement de traitement thermique rapide entièrement automatisé basé sur des technologies de pointe, conçu pour fournir à ses utilisateurs une précision et une efficacité maximales. Le système fonctionne dans une plage de température de 25 ° C à 900 ° C et offre une excellente uniformité de température de +/- 5 ° C, ce qui signifie que l'environnement à l'intérieur de la chambre de traitement reste constant pendant le chauffage et le refroidissement. La stabilité de la température garantit des performances de gravure ou de cueillette optimales à n'importe quelle combinaison de température et de substrat. L'unité est équipée d'une machine de commande intégrée intuitive qui offre un contrôle de recette flexible, permettant l'intégration de l'atmosphère, la vitesse de chauffage, le refroidissement, la correction du point final et de nombreux autres paramètres de processus. Cet outil de contrôle est également capable d'ajuster dynamiquement ces paramètres de processus si nécessaire. L'actif est capable de traiter jusqu'à 6 substrats à la fois avec une taille de chambre de procédé de 100mm de diamètre et une taille de substrat de 8 « ou 12 », lui donnant une capacité de débit plus élevée. La Chambre est conçue pour effectuer des processus de gravure et d'oxydation et elle est également équipée d'un viseur de fenêtre en quartz afin que les utilisateurs puissent voir clairement l'avancement de leurs travaux sans avoir à ouvrir le couvercle de la chambre. Le modèle de traitement thermique rapide Alliance A6 9600 est une solution idéale pour les utilisateurs qui cherchent à obtenir une stabilité de température précise et à obtenir un rendement et des performances maximums lors du traitement de leurs substrats.
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