Occasion LAM RESEARCH Alliance A6 TCP 9408 PTX #9213369 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A6 TCP 9408 PTX est un graveur/asher automatisé de haute précision conçu pour les installations de fabrication de semi-conducteurs de série. Cette machine est conçue pour permettre un débit élevé de plaquettes en optimisant la manipulation, l'introduction, le revêtement et le processus de gravure. L'équipement global comprend une unité de commande individuelle avec des capacités de cendrier et de chauffage/refroidissement intégrées. L'unité de contrôle comprend un contrôleur logique programmable pour un contrôle précis des procédés, une vanne électromécanique, un panneau de gaz pour l'introduction et la gestion des gaz réactifs et des procédés, et un système de levage à grande vitesse. Le cendrier individuel est constitué d'une plate-forme située sur un ascenseur porté par une unité d'étalage à axe X. L'ascenseur déplace la plate-forme verticalement et la machine de mise en scène X-Axis déplace la plate-forme dans toute la chambre de processus. L'Alliance A6 TCP 9408 dispose de plusieurs technologies avancées de contrôle des processus, comme LAM RESEARCH EECO-GATE Precision Tuning Tool, pilot asher a3 et le logiciel de processus Auto-Pilot Asher. L'actif EECO-GATE optimise la puissance RF pour permettre la répétition et la répétition du processus de gravure. Le modèle pilote Asher a3 est capable de contrôler de façon totalement indépendante les paramètres du processus, en s'assurant que le processus de gravure est répétable et répétable pour chaque plaquette. Le logiciel de processus Auto-Pilot Asher joue un rôle important dans le contrôle des processus, permettant l'automatisation des processus tels que les corrections automatiques de la puissance RF, le taux de gravure, le débit et d'autres variables de processus. L'Alliance A6 TCP 9408 contient également un équipement intégré de refroidissement/chauffage, qui permet un contrôle précis de la température de la zone de traitement, assurant que le processus de gravure est effectué dans la plage de température requise. La machine contient également un système de remplacement des électrodes, qui permet de remplacer rapidement les électrodes pour différents travaux et différentes plaquettes sans intervention manuelle. De plus, l'Alliance A6 TCP 9408 est équipée de plusieurs dispositifs de sécurité, dont un dispositif de verrouillage de sécurité, une machine anti-incendie et un outil de soupape d'arrêt d'urgence. L'actif filtre de la machine est conçu pour protéger l'environnement du processus contre la contamination. En résumé, Alliance A6 TCP 9408 PTX est un puissant graveur/asher conçu pour permettre une répétition transparente, répétable et répétable des processus de wafer. La machine est équipée de plusieurs technologies avancées de contrôle des procédés et des caractéristiques de sécurité, ce qui en fait un choix fiable pour les besoins de fabrication de semi-conducteurs de série.