Occasion LAM RESEARCH Alliance A6 #9123023 à vendre en France
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LAM RESEARCH Alliance A6 est un équipement de gravure et de cueillette de précision, conçu pour les applications de gravure et de cueillette les plus exigeantes. Alliance A6 est capable de performances supérieures dans un certain nombre d'applications de gravure et d'ashing. Il est équipé de fonctionnalités avancées et haut de gamme qui en font l'outil parfait pour la fabrication d'appareils à l'échelle nanométrique et le prototypage MEMS. LAM RESEARCH Alliance A6 fournit une production et un contrôle du plasma très précis sur la même plate-forme, permettant aux utilisateurs d'obtenir une stabilité des paramètres plasmatiques serrée et une large gamme de résultats de gravure et d'ashing. Le système est capable de gravure sous microns ainsi que des opérations de gravure par faisceau d'ions haute résolution et de cendrage. Ceci est rendu possible grâce à des capacités avancées de gravure et d'ashing recette et des systèmes de surveillance plasma en temps réel. Alliance A6 est construit avec une source de pulvérisation magnétron DC à haut débit de pointe. Ceci assure des taux de gravure et d'ashing très élevés en même temps, afin de travailler avec de multiples substrats d'échantillons. L'unité offre également une vue claire du processus avec la possibilité d'un interféromètre laser pour le contrôle dynamique de la rétroaction. Cela garantit que toutes les parties de l'échantillon ont même des propriétés de gravure/cueillette. Pour garantir les meilleurs résultats possibles, LAM RESEARCH Alliance A6 a également une fiabilité en matière de sécurité et de conformité environnementale. Il est entièrement conforme aux normes de l'industrie des semi-conducteurs et de la qualité de l'air en salle blanche. Cela protège l'intégrité de l'échantillon contre la contamination, le bruit harmonique et d'autres facteurs environnementaux qui pourraient affecter le processus. De plus, il comprend une machine de décontamination, pour s'assurer qu'aucun résidu chimique ne s'attarde sur l'échantillon après la gravure. Dans l'ensemble, Alliance A6 est un choix idéal pour la gravure et l'ashing sur de multiples types de substrat, offrant un excellent contrôle du processus et des résultats. Ses caractéristiques haut de gamme le rendent adapté à une variété d'applications de fabrication de dispositifs nanométriques et de prototypage MEMS.
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