Occasion LAM RESEARCH Alliance A6 #9176367 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A6 est un graveur/asher, travaillant sur les principes de la gravure électronique - résonance cyclotron (ECR). L'équipement est conçu pour répondre aux exigences rigoureuses du processus de gravure et d'ashing d'une large gamme de matériaux semi-conducteurs. L'A6 offre des performances de gravure et de cendrage supérieures, ainsi que de faibles coûts d'entretien et un temps d'arrêt minimal. Le système dispose d'une chambre de gravure ECR de type tout N, équipée d'un injecteur de gaz hélium et d'une source d'ions. La méthode de résonance à haute énergie utilisée par l'A6 permet une vitesse de gravure élevée et une sélectivité supérieure, même aux niveaux de demi-microns. Les injecteurs de gaz hélium permettent un faible dépôt, une excellente sélectivité et des vitesses de gravure rapides. La source d'ions génère un faisceau d'ions à haute énergie pour éliminer rapidement le matériau du substrat, ce qui permet des processus de gravure et de cueillette efficaces. L'unité est intégrée à un module de nettoyage plasma à haut débit pour nettoyer de façon sûre et fiable la chambre de traitement de l'A6. Ce module augmente la densité du plasma, améliore les processus de gravure et d'ashing et améliore la répétabilité globale du processus. Une machine d'alimentation en gaz de grande capacité assure un contrôle thermique et le plus haut niveau de prévention de la contamination. Les chambres de contrôle de débit trois voies en temps réel permettent un contrôle précis des processus de gravure. En outre, un outil propriétaire de verrouillage de charge assure des recettes de haute précision et l'uniformité. L'actif dispose d'un modèle automatisé de gestion des recettes pour faciliter le transfert des recettes entre les chambres avec peu d'effort. Des recettes prédictives d'IA personnalisées offrent des performances de processus optimales sur chaque substrat et combinaison de processus. L'équipement fournit également à l'utilisateur des informations et un contrôle d'état en temps réel, afin d'améliorer la surveillance des processus et le dépannage. L'interface air-processus en option réduit les temps d'arrêt pour le séquençage des tâches, augmentant ainsi le débit des processus. Le système offre également une grande précision et répétabilité, même lors du traitement de substrats d'épaisseurs variables. L'A6 offre également une flexibilité permettant différentes techniques de gravure telles que la gravure isotrope, anisotrope et directionnelle. Alliance A6 est un outil puissant pour la gravure haute performance et l'ashing des matériaux semi-conducteurs. Il fournit des performances de gravure fiables, ainsi qu'un entretien sûr et faible. L'A6 offre les dernières technologies de gravure et d'ashing et permet des recettes de processus personnalisées pour améliorer l'efficacité et la répétabilité. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Alliance A6 est une puissante unité de gravure et d'ashing qui offre des performances de gravure supérieures sans compromettre la sécurité.