Occasion LAM RESEARCH Alliance A6 #9389920 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance A6 est un graveur/asher de lots monobloc conçu pour le traitement à haut débit. Il offre une technologie de pointe avec une empreinte compacte, des performances élevées et une répétabilité de traitement supérieure. Alliance A6 dispose d'une source de plasma RF à double étage avec contrôle indépendant de la polarisation DC qui fournit une excellente sélectivité de gravure/cendrage, ainsi que des processus de gravure/cendres à haut débit et à haute anisotropie. Il peut également être configuré pour une gravure plasma haute densité ou une gravure à décapage sec. La chambre comprend un équipement de distribution de gaz centralisé automatisé pour une meilleure uniformité de gravure. La capacité de distribution du gaz orientée vers le centre fournit l'amélioration ∼10x de gravent l'uniformité à l'eau forte, sur les systèmes de fente de co-linear traditionnels. Le système de chargement/déchargement compact mais puissant permet de charger/décharger facilement les échantillons et de les placer. La LAM LAM RESEARCH Alliance A6 est capable de manipuler des plaquettes standard, fragiles et épaisses jusqu'à 6 "(150 mm). L'unité est conçue pour accueillir des procédés à haute température (jusqu'à 450 ° C) et des recettes de procédés à haute pression (jusqu'à 65 Torr). Le matériel et le logiciel de contrôle de la machine disposent d'une interface intuitive et conviviale. Il est capable de stocker des centaines de recettes qui peuvent être facilement rappelées. Le niveau de sophistication et les fonctionnalités intuitives qu'il offre, élimine le besoin de programmation complexe. Alliance A6 offre de nombreuses fonctionnalités avancées qui garantissent la productivité de l'utilisateur, la répétabilité et des performances de processus supérieures. Ces caractéristiques comprennent : diagnostic avancé et surveillance, contrôle de dilution de l'hydrogène, injection uniforme de gaz et polarisation du substrat RF. LAM RESEARCH Alliance A6 est un outil de gravure/cendres idéal pour le dépôt de matériaux à couches minces de haute performance, y compris ceux pour dispositifs semi-conducteurs, optiques et optoélectroniques. Son ensemble de fonctionnalités supérieures en fait un excellent choix pour améliorer la productivité et le débit, tout en assurant un excellent contrôle du processus et la répétabilité.