Occasion LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX #293627727 à vendre en France
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ID: 293627727
Taille de la plaquette: 8"
Etcher, 8"
Chamber
ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M Turbo molecular pump
ACT 1300M PM Pump controller
Enhanced gas box
Spooled inlet gas panel
HORIBA / STEC Mass Flow Controller (MFC) Type: Digital
Gas filter: ≥0.003 um
Gas box stacking: 4 PM Stacking
Pump ballast with AOV 85
Chamber manometer: MKS 0.1 Torr
Turbo manometer: MKS 10 Torr
Fore line manometer: MKS 10 Torr
Pressure control valve: Pendulum VAT65
Helium pressure control unit: UPC-1300
ESC 718-094523-281 Bipolar anodize (Notch), 750 V, 24 VDC
Chamber configuration: Elevated top hat
Direct pressure monitoring
He Cooling size (Center): 50 SCCM
(8) Gas lines:
Line / Gas / Size
1 / O2 / 50 SCCM
2 / C2F6 / 100 SCCM
3 / Cl2 / 100 SCCM
4 / HBr / 350 SCCM
5 / He / 500 SCCM
6 / 20% O2/He / 20 SCCM
7 / CF4 / 200 SCCM
8 / SF6 / 200 SCCM
Upper chamber temperature: 60°C
Wall chamber temperature: 60°C
Lower chamber temperature: 65°C
ADVANCED ENERGY RFDS-1250 RF Generator, 1250 W (P/N: 660-024637-026)
RF Generator cooling type: Water
Coil (P/N: 853-330601-001)
Match (P/N: 853-032294-002)
Auto tune PCB (P/N: 810-015987-101)
Upper match enclosure with fan
ADVANCED ENERGY RFG-1250 Halo RF Generator, 1250 W (P/N: 660-024637-028)
RF Generator cooling type: Water
P/N: 853-015130-103 Match
P/N: 810-017003-005 DIP PCB.
LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX est une machine asher/etcher souhaitable pour la production en usine. Cette machine compacte et facile à utiliser est principalement utilisée pour le traitement de substrats de plaquettes. Le modèle PTX est idéal pour les applications de croissance et d'enlèvement de matériaux nécessitant un haut degré de précision et de précision. Ses capacités d'automatisation maximisent le débit, réduisent le coût par application et simplifient le fonctionnement. Le PTX utilise une technologie de gravure améliorée par plasma, avec une conception de chambre optimisée et des paramètres de gravure avancés fournissant des résultats de qualité supérieure. Ce graveur très avancé présente un excellent profil de dépôt, des chevauchements uniformes et une définition pointue des caractéristiques, ce qui donne des plaquettes sans défaut et un rendement plus élevé. Le PTX TCP 9400 dispose d'un étage de rotation d'inclinaison permettant un alignement précis du traitement avec une reconnaissance précise des motifs. Ceci permet de traiter des substrats de toute taille et épaisseur tout en conservant une homogénéité précise. La machine a également une durée de vie exceptionnelle avec un temps de fonctionnement total moyen de 97 %. L'équipement est basé sur un processus monobloc de 90nm qui est parfait pour les applications à faible puissance et haute densité. Il offre un large éventail d'options de système pour personnaliser les résultats en fonction des besoins spécifiques d'un client. D'autres caractéristiques comprennent une source radiofréquence de haute puissance de 25W fournissant une puissance uniforme sur l'ensemble de la plaquette, la sélection automatique de l'encoche, et une unité de gestion de données à distance sécurisée pour le contrôle et la surveillance des processus. Le PTX est conçu pour une fiabilité à long terme, une résistance et une répétabilité précises, et une machine haute performance pour répondre à des exigences de production exigeantes. La machine offre également un haut niveau de confort de l'opérateur et un fonctionnement flexible avec un écran tactile couleur et un logiciel mis à jour rendant le fonctionnement et la maintenance de l'équipement plus simple et plus efficace. Cette machine est bien adaptée à tout environnement de production et offre un temps de disponibilité optimal, le contrôle du processus et la reproductibilité.
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