Occasion LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX #293793431 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance TCP 9400 PTX est un graveur/asher offrant une grande cohérence de débit et de débit. Il est utilisé pour la gravure et le cendrage des substrats céramiques et métalliques. Il fournit des résultats de haute précision avec ses processus programmables et reproductibles et ses performances d'autosurveillance. L'équipement fonctionne sur un contrôleur couleur écran tactile, et offre une résolution de contrôle jusqu'à 0,05 secondes de temps d'étape pour des durées de gravure et d'ashing précises. Ce système de gravure/cueillette offre un débit élevé d'environ 400 substrats par heure, et est conçu pour être conforme aux protocoles de salle blanche. Le cendrier PTX TCP 9400 contient une chambre de réactif basse pression refroidie à l'air, un module de gaz de procédé et des régulateurs de température et de vide. L'unité fournit également une capacité de gravure tri-gaz pour les configurations de silicium. Il est équipé d'une machine de filtrage pour assurer le contrôle des particules et la prévention des dépôts de particules. L'outil fournit un processus efficace en utilisant une conception avancée de cheminée de réacteur. Cela permet de minimiser la diffusion des gaz et de faciliter les temps de gravure rapides. L'actif offre également un contrôle de gravure précis, une uniformité améliorée et une excellente répétabilité d'un lot à l'autre. Le modèle PTX TCP 9400 comprend plusieurs caractéristiques de sécurité pour assurer un environnement d'exploitation sécuritaire. L'équipement offre également des fonctions d'autodiagnostic pour détecter toute altération externe. De plus, le système comprend une conception de maintenance faible pour minimiser les temps d'arrêt. Le matériau en alliage d'acier inoxydable assure un faible gazage, une faible concentration de fuites et empêche la contamination des substrats. L'unité est capable de produire des résultats de haute qualité avec un large éventail de substrats, et est capable de répondre aux besoins de divers processus de production. Le joint élastomérique assure précision et précision, tandis que la conception de la chambre offre une répétabilité des résultats et des temps de processus rapides. En outre, la machine avancée de surveillance des processus minimise les erreurs et permet de réduire les temps de gravure. Dans l'ensemble, Alliance TCP 9400 PTX est un graveur/asher idéal pour diverses lignes de production et des besoins de production à haut volume. Le débit élevé de l'outil, le contrôle précis de la gravure et les caractéristiques de sécurité en font la solution idéale pour les applications de gravure et d'ashing de haute précision.