Occasion LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 #9255329 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 etcher/asher est une machine multifonctionnelle spécialement conçue pour le dépôt et la gravure de films, ainsi que les processus de nettoyage, de dépôt physique en phase vapeur et de lithographie associés nécessaires à la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cette machine offre une large gamme de capacités de gravure et plusieurs applications, telles que les dispositifs MEMS, les dispositifs semi-conducteurs composés et les dispositifs microélectroniques. Alliance TCP 9600 etcher/asher est équipé d'une chambre à vide de 14 "de grande capacité, capable d'accepter des substrats jusqu'à 4" x 4 "de taille. Cette chambre est chauffée par l'intermédiaire d'un plasma contenant du chlore et de l'oxygène, produit par une source de résonance cyclotron électronique (ECR). L'énergie plasmatique permet alors une gravure extrêmement précise des couches déposées, telles que le silicium polycristallin, l'épitaxie, le silicium amorphe et d'autres matériaux. Le graveur/asher comprend également un générateur de polarisation RF et un régulateur de pression Honeywell, permettant une combinaison précise de la puissance et de la pression du plasma pour une gravure de haute qualité. LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 propose également deux spectromètres de masse d'ions in situ, qui permettent une surveillance en temps réel du processus de gravure, fournissant des informations importantes sur les taux de gravure et l'uniformité des gravures. En surveillant les taux de gravure et l'uniformité, les fabricants sont en mesure de produire des résultats de gravure plus précis, réduisant la variabilité des procédés et, en fin de compte, améliorant la qualité des produits. De plus, les spectromètres de masse d'ions in situ permettent d'intégrer facilement des recettes de gravure supplémentaires, ce qui permet de graver de nouveaux matériaux avec un minimum de temps d'arrêt. L'alliance TCP 9600 est munie avec une suite de logiciel Windows®-compatible puissante, facile à utiliser, le fait de tenir compte facilement l'organisation et l'exécution de grave des recettes à l'eau forte. Ce logiciel comprend des capacités d'analyse de données, permettant un suivi facile des données d'utilisation et des résultats de gravure, aidant les fabricants à produire des résultats de haute qualité plus rapidement et plus efficacement. Au total, LAM RESEARCH Alliance TCP 9600 est une machine hautement capable, offrant une gravure de haute qualité, une suite logicielle puissante et une surveillance en temps réel pour des processus de gravure de haute précision et fiables. Cette machine est idéale pour les fabricants qui ont besoin d'un graveur/asher avec une gravure très précise et des capacités de surveillance précises, avec un temps d'arrêt minimal.