Occasion LAM RESEARCH Alliance #9024992 à vendre en France

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ID: 9024992
Gas box.
LAM RESEARCH Alliance est un outil de gravure et de cendrage avancé qui fournit une précision de pointe pour les solutions de gravure et de cendrage de précision. Il est conçu pour aider à créer des motifs plus petits, plus précis et reproductibles dans la gravure et l'ashing des micropuces et autres composants électroniques. Alliance est idéal pour des applications de gravure et d'ashing complexes et structurellement exigeantes, car l'équipement est capable de produire de petites fonctionnalités avec des erreurs de dimension de profil faible et une précision de répétabilité élevée de +/-3 angströms. Le système est composé de plusieurs composants haut de gamme qui assurent la précision de gravure et de cueillette du matériau de substrat désiré. Cela comprend une configuration optique à haute sensibilité, qui est conçue pour fournir des résultats précis avec des capacités d'imagerie à très haute résolution, et un sous-système de génération de motifs et d'imagerie de haute précision, qui permet la manipulation et le contrôle de motifs individuels de gravure et d'ashing. Pour le processus de gravure, LAM RESEARCH Alliance dispose d'une puissante source d'ions capable de personnaliser les compositions de gravure et d'atteindre des taux de gravure contrôlés. Cette puissante source d'ions consiste en une unité à haute énergie délivrant des ions à travers une gamme d'énergie ionique réglable dynamiquement, ce qui permet de graver avec une large gamme de matériaux. Il existe également une chambre de gravure personnalisée, capable de produire des champs électriques, chimiques et thermiques pour le dépôt de films et la gravure de substrats. Cette chambre comprend un certain nombre d'accessoires pour gérer différents paramètres de gravure et réaliser des couches répétables avec une grande fiabilité. Pour le processus de cueillette, l'unité est équipée d'une machine de commande robuste capable de contrôler les taux pour plusieurs recettes, et offre une programmation automatisée pour un processus plus rapide et plus fiable. Alliance dispose également d'une boucle de rétroaction tempérée, qui maintient la température du processus dans des tolérances serrées pendant le processus de cueillette. L'actif fournit également une interface logicielle qui prend en charge U.S. Gcode et VLSI CAD, et permet la mise en page intuitive et la simulation et l'optimisation des paramètres pour assurer le plus haut niveau de précision dans le processus de gravure et de cueillette. LAM RESEARCH Alliance est conçue pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie en matière d'applications de gravure de précision et de cendrage avec précision, répétabilité et fiabilité. Ce modèle est utilisé dans les secteurs de la microélectronique, des semi-conducteurs, des appareils médicaux et de l'automobile, et est un choix idéal pour les applications de gravure de précision et d'ashing.
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