Occasion LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM #9250676 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM est un graveur/asher conçu pour supporter une gamme de procédés semi-conducteurs avancés. Il combine un logiciel de contrôle de processus propriétaire haut de gamme avec une conception modulaire unique pour fournir des performances et une précision supérieures. Alliance6 9400 DFM offre une variété de capacités de gravure et de dépôt. L'équipement est compatible avec les technologies CVD, PECVD et ALD, ainsi qu'avec les produits chimiques de résistance et de gravure. Il est capable de traiter des substrats jusqu'à 4 "et peut atteindre des températures jusqu'à 950 ° C Le système offre une excellente uniformité, répétabilité et temps de cycle rapide en utilisant la plate-forme d'échange Multi-Plane Linear FlowTec™, qui fournit une grande précision et répétabilité. L'unité dispose également d'une combinaison source/pompe de plasma polyvalente qui permet une gravure plasma uniforme des métaux et des matériaux high-k conformément aux recettes de processus de l'utilisateur. LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM est équipé d'une alimentation avancée PIC Corporation et permet aux utilisateurs de choisir parmi une grande variété de gaz, permettant des configurations avancées des réacteurs pour le dépôt de films et les processus de gravure. Le logiciel propriétaire de la machine contribue à réduire la variabilité dans la fabrication des fonctionnalités submicroniques, assurant des performances de l'appareil supérieures. Le logiciel permet aux utilisateurs de surveiller, d'analyser et d'optimiser les performances du processus pour contrôler avec précision l'uniformité, le débit et le rendement. Alliance6 9400 DFM est idéal pour une gamme d'exigences de production et de conformité à la réglementation environnementale. Son outil de gestion chimique assure la sécurité et la réduction des déchets, ainsi que la conformité aux exigences SEMI S2. L'actif est également conçu pour répondre à des exigences à haut débit et à faible coût. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Alliance6 9400 DFM est un graveur/asher très avancé conçu pour offrir des performances et une précision supérieures. Sa conception modulaire unique et ses logiciels exclusifs permettent aux utilisateurs d'optimiser le processus, tandis que son modèle de gestion chimique assure la sécurité et le respect de la réglementation environnementale.