Occasion LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX #9250675 à vendre en France

LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX
ID: 9250675
Taille de la plaquette: 8"
Poly etcher, 8" (3) Chambers.
LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX est un graveur/asher qui offre des solutions de processus pour des applications allant des processus complets de gravure/ashing de plaquettes aux processus de fond tels que le décapage de photorésist et l'élimination des métaux. Alliance6 9400 PTX est un graveur/aser polyvalent et avancé qui dispose d'une chambre de processus unique et offre un haut débit, un faible coût, une flexibilité dans la conception des processus et une large gamme de capacités de processus. LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX utilise une source de plasma à couplage inductif à électrode parallèle. Il est conçu pour assurer un contrôle efficace du plasma et une fiabilité et une répétabilité accrues des processus. Il fournit des processus de gravure/cendres uniformes et propres avec une détection précise du point d'extrémité. L'etcher/asher se compose d'une chambre de procédé unique et d'un contrôleur tactile facile à utiliser. Il est conçu pour offrir un meilleur contrôle des processus et des temps d'arrêt améliorés, ainsi qu'une répétabilité et une uniformité accrues. Alliance6 9400 PTX est un graveur/asher fiable et stable qui répond aux exigences internationales strictes en matière de sécurité et d'environnement, ce qui le rend sûr pour une utilisation dans les systèmes de production. Il est équipé d'un système breveté de surveillance des processus RF à double fréquence et d'un système de manutention des plaquettes extrêmement avancé pour permettre le traitement multi-plaquettes. Il comprend plusieurs paramètres de processus, dont la température du substrat, la composition du gaz de procédé, la pression, la puissance et le courant. Tous ces paramètres peuvent être ajustés avec précision pour obtenir des résultats optimaux pour une gamme étendue de processus de gravure/cueillette. L'etcher/asher utilise le logiciel le plus avancé, permettant une facilité de fonctionnement et l'optimisation des paramètres de processus. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Alliance6 9400 PTX est un graveur/asher polyvalent, avancé et fiable qui est conçu pour des processus à haut débit et à faible coût. Il offre un contrôle précis du processus et des temps de descente améliorés ainsi qu'une répétabilité et une uniformité améliorées. En outre, il répond à des exigences mondiales strictes en matière de sécurité et d'environnement, ce qui le rend sûr pour les systèmes de production.
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