Occasion LAM RESEARCH Autoetch 480 #293652620 à vendre en France
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ID: 293652620
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1990
Automatic etcher system, 6"
Process: Poly / Nitride etch
1990 vintage.
LAM RESEARCH Autoetch 480 est un graveur/asher conçu pour le traitement des plaquettes. Il permet un débit élevé, une gravure robuste et des cendres pour une variété d'applications. Utilisant la technologie multi-chambres, Autoetch 480 combine gravure et cendre en un seul outil. Les caractéristiques comprennent des contrôleurs de débit de masse indépendants pour chaque chambre, un contrôle de pression numérique pour la sélectivité des gravures/cendres, et une automatisation intégrale charge/déchargement pour améliorer la productivité. LAM RESEARCH Autoetch 480 a été conçu avec des chambres modulaires pour maximiser la flexibilité des processus. Cela permet aux clients d'adapter leur processus de gravure ou d'ashing à un ensemble spécifique d'exigences. Les capacités de gravure comprennent : gravure plasma, gravure humide et processus combinés de gravure humide/sèche. Les capacités de cueillette comprennent : plasma d'oxygène, plasma à distance, gravure humide et processus combinés de gravure humide/sèche. Tous les processus sont disponibles avec jusqu'à trois chambres. Autoetch 480 dispose également d'une technologie avancée de contrôle des processus qui garantit une répétabilité et un rendement optimaux. Il offre un système de programmation de recettes facile à utiliser qui simplifie le contrôle et minimise les temps d'arrêt. L'outil maintient une piste d'audit de processus complète, avec une traçabilité claire de l'exploitant au processus utilisé. LAM RESEARCH Autoetch 480 est livré avec une variété d'options et de mises à niveau pour augmenter la polyvalence. Cela inclut un traitement thermique rapide, une large gamme de chambres, des contrôles intégrés de particules et une interface de programmation de recettes. L'Autoetch fournit également des modules logiciels prêts à l'intégration, y compris la métrologie en temps réel, la surveillance et le contrôle en ligne, et la déclaration des données de processus. Autoetch 480 est un graveur/asher avancé qui peut aider les utilisateurs à maximiser le rendement et la répétabilité du processus. Sa conception modulaire offre de la flexibilité et permet d'adapter l'outil aux exigences spécifiques. Sa technologie de contrôle assure une répétabilité et un rendement optimaux des processus et ses modules logiciels intégrés assurent une surveillance et un contrôle en temps réel. LAM RESEARCH Autoetch 480 est une solution idéale pour les clients qui cherchent à améliorer leur processus de gravure.
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