Occasion LAM RESEARCH Autoetch 490 #293652631 à vendre en France
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ID: 293652631
Taille de la plaquette: 6"
Etcher, 6"
Process: Oxide etch
Can be setup to run: 3" to 6"
Single-wafer process
Automated microprocessor
Cassette-to-cassette wafer process
Vacuum load locked
Programmable
Variable electrode spacing
Endpoint detection
ENI OEM-6 RF Generator
Edward vacuum pump
M and W Flowrite chiller.
LAM RESEARCH Autoetch 490 est un équipement de gravure et d'ashing qui offre un contrôle de haute précision et programmable des processus chimiques et de la température. Ce système est capable d'assumer une variété de tâches de gravure et de cueillette avec des exigences de température et de gravure variables. Autoetch 490 utilise des systèmes de contrôle indépendants, automatiques et informatisés pour les fonctions de température et de logique, qui permettent des scénarios de gravure et d'ashing complexes avec une flexibilité totale. LAM RESEARCH Autoetch 490 est une unité d'outils premium avec une interface graphique intuitive et un contrôle de processus avancé. Il dispose d'un écran couleur intégré de 12 pouces, permettant aux utilisateurs de voir clairement les opérations de gravure et de cueillette, ainsi que de visualiser et d'ajuster les paramètres de la recette rapidement et facilement. Il auto-calibre également la température de chaque chambre et maintient la cohérence de température tout au long du processus, permettant une qualité uniforme des composants gravés. La machine dispose en outre d'une séquence chronologique permettant un contrôle précis et cohérent du temps de gravure. Cette minuterie peut également être utilisée conjointement avec les contrôleurs de limites intégrés pour assurer la protection des substrats et composants délicats. Autoetch 490 est alimenté par une alimentation en air comprimé interne pour entraîner deux pompes à vide indépendantes pour des opérations de gravure, de cendrage et de nettoyage précises. Il utilise les technologies E-beam et d'exposition aux UV pour faciliter les processus die-to-die, web et reel-to-reel. L'outil dispose également de plusieurs capacités de nettoyage pour améliorer la fiabilité des processus et l'assurance de la qualité. Ces fonctions de nettoyage, qui comprennent un processus de nettoyage par voie humide et un processus réactif de nettoyage des gaz, aident à réduire les temps de cycle et permettent à LAM RESEARCH Autoetch 490 d'être un outil efficace pour obtenir des résultats de gravure et d'ashing de haute pureté. La fonction de réglage de la buse haute précision assure également la cohérence dans le traitement des gros substrats, ce qui est essentiel pour la qualité des produits reproductibles. En bref, Autoetch 490 est un puissant atout de gravure et de cueillette qui fournit des résultats de qualité supérieure. Avec son interface graphique conviviale, son contrôle avancé des processus, son contrôle indépendant de la température, son minuterie intégrée et ses contrôleurs de limites, ses capacités de nettoyage efficaces et ses réglages précis des buses, LAM RESEARCH Autoetch 490 est un outil idéal pour toute application de gravure et d'ashing.
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