Occasion LAM RESEARCH Autoetch 490 #293728169 à vendre en France

LAM RESEARCH Autoetch 490 est un équipement avancé de gravure et de cendrage conçu pour la fabrication de haute précision de dispositifs semi-conducteurs. Il utilise une variété de technologies de gravure et d'ashing, y compris la gravure plasma intégrée, la gravure plasma inductivement couplée et les processus réactifs de gravure ionique. Le système Autoetch 490 est configuré avec une chambre entièrement fermée qui fournit un environnement de processus propre et permet à l'unité de respecter les exigences de répétabilité de processus serré et de contrôle des recettes. L'énergie plasmatique est précisément contrôlée pour s'assurer que les processus de gravure sont très reproductibles. RECHERCHE LAM Autoetch 490 peut précisément graver des structures complexes et créer des formes géométriques uniques avec des rapports d'aspect élevés. Autoetch 490 comprend une machine à manipuler les plaquettes robotisées installée en usine, qui permet la manutention automatisée des plaquettes et les opérations de port de chargement. L'outil robot handler offre un débit élevé et des temps de cycle courts, et dispose d'un atout de convoyeur reconfigurable dynamiquement pour plusieurs tailles de plaquettes. LAM RESEARCH Autoetch 490 dispose également d'un modèle de régulation de la température des plaquettes pour garantir des performances de gravure optimales. L'équipement peut être équipé d'une large gamme de recettes de gravure, y compris des tranchées à haut rapport d'aspect, des vias complexes, des trous traversants et des profils plus profilés. Autoetch 490 permet également une modification rapide et facile de la recette, des ajustements des paramètres de la recette et la surveillance du processus. Le système dispose également d'un moniteur de processus vidéo haute résolution intégré pour la surveillance de processus en temps réel. LAM RESEARCH Autoetch 490 propose également un logiciel complet de diagnostic, d'alarme et de gestion des recettes pour maintenir le contrôle des processus. Le logiciel de diagnostic et de surveillance à distance permet la surveillance et le contrôle des performances des processus à distance. Autoetch 490 offre également aux utilisateurs une variété d'options pour l'automatisation des processus, y compris la gestion embarquée des recettes, l'unité de détection d'étincelles sans contact, les fichiers de configuration automatique et la capacité d'autorun. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Autoetch 490 est une machine de gravure et de cendrage avancée qui offre des processus de gravure reproductibles de haute précision. L'outil comprend un outil de gestion de plaquettes robotisées et diverses options de contrôle de processus, et est idéal pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.