Occasion LAM RESEARCH Autoetch 490 #293811780 à vendre en France

ID: 293811780
Taille de la plaquette: 6"
Plasma etchers, 6" PC controller Touch screen monitor (6) Gas lines.
LAM RESEARCH Autoetch 490 est un graveur/asher conçu pour le traitement à haut débit de substrats à forte marge. Cet etcher/asher est hautement conçu pour des performances optimisées et une productivité élevée. Autoetch 490 dispose d'une chambre de procédé haute pression et haute capacité et d'une large gamme de solutions chimiques de gravure. La chambre est conçue pour maximiser l'utilisation du gaz, tandis que les résultats de gravure uniformes et la précision supérieure du processus sont activés par les algorithmes avancés de contrôle du processus. Conçu pour un fonctionnement à haut rendement et à faible coût, LAM RESEARCH Autoetch 490 peut traiter plusieurs plaquettes en même temps avec des exigences de taille de caractéristiques critiques de gravure cohérentes et le temps de processus. Autoetch 490 propose également une variété d'options de processus, telles que le contrôle actif de la température des plateaux, l'entrée de gaz multiples et un système de refroidissement actif. Avec de solides capacités de contrôle des processus, LAM RESEARCH Autoetch 490 peut modifier les paramètres en temps réel pour maximiser le rendement de gravure et la précision du profil. Autoetch 490 est bien adapté pour la gravure plasma, la gravure humide, le cendrage, la gravure d'oxyde de grille et la gravure de profil latéral. Il a un taux de rendement élevé de 50-100 %, et peut être couplé avec les architectures RF et Open Tower. LAM RESEARCH Autoetch 490 est une plate-forme logicielle 32 bits basée sur Windows qui permet de l'intégrer facilement dans les environnements de production existants. Autoetch 490 possède également des caractéristiques de sécurité qui minimisent la contamination, ainsi que des solutions logicielles avancées pour l'inspection des défauts et le contrôle des processus. Le système est facile à utiliser, avec un écran LCD couleur complète pour la surveillance de l'état et des opérations. La capacité d'accès à distance fournit aux utilisateurs des diagnostics à distance pour s'assurer que le système fonctionne de manière optimale. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Autoetch 490 est un graveur/asher polyvalent à haut débit qui peut être utilisé pour graver avec précision les substrats à forte marge. Doté de capacités de contrôle de processus robustes, de fonctionnalités de sécurité avancées et d'un fonctionnement facile, ce graveur/asher est une solution idéale pour une gamme d'applications de gravure.
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