Occasion LAM RESEARCH Autoetch 490 #293815927 à vendre en France
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LAM RESEARCH Autoetch 490 est un équipement avancé de gravure et de cendrage conçu pour répondre aux besoins d'une variété d'applications de dispositifs semi-conducteurs. Le système est conçu pour assurer la gravure, le dénudage, le dénudage et le retrait des résines photosensibles, et le conditionnement de la surface des plaquettes dans une plate-forme pratique. Autoetch 490 est capable de traiter à la fois des substrats plats et de forme irrégulière. Son design unique permet des recettes de gravure multiples, permettant une flexibilité et une large gamme de capacités. LAM RESEARCH Autoetch 490 est composé d'un certain nombre de sous-systèmes qui offrent la flexibilité nécessaire au traitement d'une variété de substrats. Ces systèmes comprennent : une unité de charge/déchargement, une machine de contrôle de gaz, un outil de distribution de gaz, un porte-substrat et une chambre de gravure. L'actif charge/déchargement est utilisé pour déplacer les substrats à l'entrée et à la sortie de la chambre de gravure. Le modèle de contrôle des gaz est utilisé pour réguler le débit des gaz de gravure. L'équipement de distribution de gaz est chargé de délivrer les gaz de gravure à la chambre de gravure. Le porte-substrat maintient les substrats dans la chambre de gravure pendant le traitement, tandis que la chambre de gravure elle-même est destinée à assurer une gravure uniforme du substrat. Autoetch 490 est équipé de fonctions de sécurité avancées telles qu'un système de verrouillage à vide et un interrupteur d'arrêt d'urgence. Il comprend également une unité de contrôle automatique des recettes qui permet aux opérateurs de stocker les recettes fréquemment utilisées et de gérer la machine plus efficacement. De plus, il dispose d'un grand écran couleur de 21 pouces qui permet aux opérateurs de surveiller le processus de gravure et de faire les ajustements nécessaires. RECHERCHE LAM Autoetch 490 est capable de graver des plaquettes à des vitesses allant jusqu'à 400 mm/min, avec jusqu'à 8 recettes de gravure par lot de substrat. Cela le rend adapté à un large éventail de besoins de production. Il est également compatible avec une variété de gaz de gravure, ce qui le rend adapté à des processus complexes tels que la gravure ionique réactive, la gravure ionique réactive profonde, et d'autres. Autoetch 490 est un outil avancé de gravure et de cendrage haut de gamme conçu pour répondre aux besoins d'une variété d'applications de dispositifs semi-conducteurs. Il est capable de gravure rapide et fiable des plaquettes et est conçu avec la sécurité et la facilité d'utilisation des opérateurs à l'esprit. Les caractéristiques avancées et la capacité de l'actif en font un choix idéal pour des processus de gravure et de cueillette complexes et un ajout précieux à toute installation de production.
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