Occasion LAM RESEARCH Autoetch 490 #9265329 à vendre en France

LAM RESEARCH Autoetch 490 est un équipement de graveur/asher conçu pour les applications de gravure par plasma, de cendrage et de décapage à sec. Le système utilise des technologies avancées de gravure plasma, en plus de la fourniture de puissance avancée, pour des performances de processus maximales. Autoetch 490 offre un débit élevé, une sélectivité élevée et des performances de processus répétables. L'unité est conçue et construite à l'aide de matériel et de logiciels de commande exclusifs, garantissant fiabilité et robustesse. L'outil comprend un Planar Reactive Ion Etcher (RIE) et un Linear Reactive Ion Etcher (LRIE). Le RIE peut être utilisé à la fois pour la gravure de trous traversants, ainsi que la gravure d'ions réactifs (RIE). Le RIE comporte un bras tournant qui se déplace entre la plaquette et la surface de gravure/post-gravure. Ceci assure l'uniformité et la répétabilité de la gravure. Le LRIE est destiné au décapage, au cendrage et au nettoyage des échantillons. Le LRIE est équipé d'un mandrin à vide qui assure un mouvement automatique et répétable. Grâce à son concept de chambre de nettoyage à face unique, le LRIE est généralement utilisé pour la cueillette simultanée d'un grand nombre d'échantillons. RECHERCHE LAM Autoetch 490 dispose également d'une large gamme de mécanismes avancés de distribution de puissance, permettant la mise en forme de la forme d'onde de puissance au processus et au substrat. Cela permet de contrôler le plasma pendant la gravure et la cueillette, réduisant les temps de gravure et de cueillette au minimum. L'actif dispose également d'une variété d'autres fonctionnalités telles que la répétabilité automatique des processus, la gravure à haute température et la température des plaquettes auto-track. Autoetch 490 est un modèle de graveur/asher fiable, robuste et efficace, idéal pour les laboratoires à la recherche de performances de processus supérieures, de répétabilité et de débit élevé. L'équipement est hautement configurable et peut être facilement configuré et ajusté pour répondre aux exigences spécifiques du laboratoire, offrant une performance de gravure et de cendrage inégalée.