Occasion LAM RESEARCH Autoetch 590 #293745368 à vendre en France

LAM RESEARCH Autoetch 590 est un graveur et asher conçu pour offrir le plus haut niveau de flexibilité pour s'adapter à la large gamme de procédés semi-conducteurs. C'est un équipement entièrement automatisé qui peut traiter des plaquettes de 200mm jusqu'à 300mm avec une vitesse allant jusqu'à 30 plaquettes par heure. Il fournit une large gamme de paramètres de processus qui permettent un contrôle précis des conditions de processus. Autoetch 590 est équipé de chambres à double réaction pour assurer une bonne uniformité et augmenter l'efficacité du processus. Il est capable d'effectuer des gravures sèches telles que RIE, ICP, gravure d'oxyde de plasma, passivation de gravure et nettoyage après dépôt. Il est également capable de procédés de gravure humide, tels que la gravure à base aqueuse, l'élimination de photorésist, la gravure acide, la gravure alcaline et la gravure à base de solution. RECHERCHE LAM Autoetch 590 est intégré à un système flexible de distribution de gaz capable d'alimenter à la fois un seul gaz de procédé et une combinaison de gaz mixtes, selon le type de procédé en cours. Autoetch 590 est conçu avec une unité de gestion des particules qui aide à réduire la contamination des particules et prolonge la durée de vie de l'outil. La manutention automatique de la plaquette, qui est intégrée à la machine, peut traiter jusqu'à trois fentes de cassette qui permet un débit significativement plus élevé, minimisant les temps d'arrêt. LAM RESEARCH Autoetch 590 dispose également d'un logiciel avancé et d'une machine de surveillance, qui est conçu pour fournir un contrôle complet des processus. Il comprend la surveillance du processus et l'enregistrement des données, fournissant des informations essentielles sur la performance de l'outil. De plus, Autoetch 590 est conçu avec des capacités de diagnostic et de contrôle intégrées qui lui permettent d'être intégré dans un outil plus grand. LAM RESEARCH Autoetch 590 est une solution rentable pour les fabricants de semi-conducteurs en raison de son haut niveau de flexibilité de processus et de fonctionnalité avancée. Il est conçu et construit pour un haut débit et la fiabilité et est l'outil idéal pour la gravure et la cendre des semi-conducteurs.