Occasion LAM RESEARCH Autoetch 590 #293754142 à vendre en France

LAM 590 est un graveur haute performance de pointe développé par LAM Research Corporation. Il s'agit d'un équipement de gravure par lots entièrement automatisé et programmable basé sur la technologie de gravure ionique réactive (RIE) et de cendrage plasma (PA). Il est capable d'un large éventail de processus de gravure et offre des performances, une précision et une productivité exceptionnelles. 590 est conçu pour gérer pratiquement n'importe quel processus de gravure ou de cendres requis. Il offre un contrôle précis des paramètres de gravure ou de cendres tels que la pression, la puissance RF, le débit et la submergence. Le système supporte une grande chambre de processus de jusqu'à 40 pouces de diamètre pour accueillir une gamme complète de tailles de plaquettes. La capacité de manutention de la cassette à la cassette de l'unité lui permet de fonctionner par lots, ce qui réduit le temps et le coût de traitement global. L'etcher/asher est équipé d'une large gamme d'options pour assurer un contrôle précis du processus et la précision. Il s'agit notamment d'un poste de verrouillage et de déchargement manuel, d'une machine automatisée de détection de hauteur, de systèmes numériques de contrôle de la température et d'un module de contrôle du générateur RF. Ces caractéristiques permettent un contrôle précis du processus de gravure ou de cendres, assurant un traitement fiable et précis des plaquettes à chaque fois. Les composants électriques et mécaniques robustes de l'outil lui permettent de résister à des tensions élevées et à des chimiothérapies agressives, assurant une longue durée de vie même dans des applications exigeantes. Il est livré avec un panneau de gaz haute résolution pour un contrôle précis du gaz et un pyromètre optique pour la surveillance automatique de la température. La manipulation mécanique automatisée de l'actif assure un processus de chargement et de déchargement efficace. LAM 590 est certifié UL-, CSA- et CE, il est donc sûr d'utiliser dans la plupart des endroits dangereux. Il offre un excellent contrôle du processus et la précision, ce qui en fait un choix idéal pour les applications de gravure et de cendrage. Le modèle est également facile à utiliser et rentable. Avec ses excellentes performances et sa précision, il est le choix parfait pour toute gravure ou processus de cendres.