Occasion LAM RESEARCH Autoetch 590 #293807554 à vendre en France
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LAM RESEARCH Autoetch 590 est un graveur/asher très sophistiqué conçu pour le flux de travail moderne de fabrication de semi-conducteurs. Cet équipement utilise une technologie de pointe pour offrir des processus de gravure et de cueillette de précision dans une machine pratique. En fournissant le plus haut niveau de gravure et de vitesse de cendrage et la précision disponible, Autoetch 590 augmente le débit de production et les rendements pour les besoins actuels de fabrication de semi-conducteurs à haut volume. LAM RESEARCH Autoetch 590 est conçu pour fonctionner de manière respectueuse de l'environnement, en utilisant des conteneurs FOUP pour transporter en toute sécurité des plaquettes sans contact humain direct. Cela élimine la nécessité de manipuler directement les produits chimiques dangereux, en protégeant le personnel et les produits vitaux contre les dommages. L'utilisateur peut également spécifier un programme flexible pour adapter spécifiquement les exigences de travail à des plaquettes gravées spécifiques pour une performance optimale. Le système est facilement configurable pour ajouter des capacités de processus spécifiques aux exigences d'un client. Autoetch 590 utilise un laser collimaté à 1 µm de haute résolution avec des lentilles de conversion en option pour permettre le traitement de plusieurs recettes. En contrôlant la puissance laser et le temps d'impulsion, les utilisateurs peuvent précisément graver de grandes et petites caractéristiques dans des plaquettes, créant des motifs difficiles à une vitesse étonnante. Le laser offre également l'avantage d'une gravure sans diaphonie pour minimiser les erreurs de marquage dépendant du masque. De plus, LAM RESEARCH Autoetch 590 propose une large gamme de paramètres de processus évolués et personnalisables tels que le contrôle du désalignement du substrat, le contrôle de la température, les réglages du niveau de puissance, les largeurs des fentes et les réglages de concentration chimique aérosolisés. Cela permet à l'utilisateur de définir précisément les paramètres nécessaires pour les tâches les plus difficiles. L'unité dispose également de capacités de métrologie et d'inspection avancées pour assurer l'exactitude de la gravure à n'importe quelle étape du processus. Autoetch 590 utilise des buses de livraison chimique de série K pour contrôler précisément et rapidement les vitesses de gravure. Cette machine a un contrôle et une fiabilité supérieurs pour assurer la plus grande précision et la plus grande cohérence de la vitesse de gravure pour chaque substrat traité. L'outil intègre une cellule de calibration pour surveiller les paramètres des processus de gravure afin d'assurer un contrôle de précision et des gravures extrêmement uniformes. L'actif est relié à une station de traitement qui peut fournir un environnement sécurisé pour contrôler tous les aspects de la gravure et de la cendre. Ceci permet une cartographie automatique des plaquettes pour assurer un alignement optimal des plaquettes par rapport aux opérations de gravure et de cendrage. En outre, le modèle offre une intégration élevée pour faciliter la communication avec une variété de plates-formes de traitement externes. LAM RESEARCH Autoetch 590 propose des outils de conception simples, des temps d'installation et des langages de programmation pour configurer l'équipement pour les besoins de production les plus complexes. En conclusion, Autoetch 590 est l'outil idéal pour la société de fabrication de semi-conducteurs moderne. Sa technologie de pointe et ses caractéristiques intégrées permettent des niveaux élevés de précision de gravure et de cendrage, de vitesse et de répétabilité. Le système fournit des processus spécifiques aux clients pour des exigences de production extrêmement rigides tout en maintenant un flux de travail sécurisé et respectueux de l'environnement.
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