Occasion LAM RESEARCH Autoetch 590 #9201785 à vendre en France
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ID: 9201785
Taille de la plaquette: 4"-6"
Plasma etchers, 4"-6"
PC Controller with touch screen monitor
(6) Gas lines
With 5 MFC
ENI OEM-12A RF Generator
Motorized wafer ARM movement with controller.
LAM RESEARCH Autoetch 590 est un asher et un graveur à plasma de pointe. Sa nouvelle technologie de traitement thermique fournit constamment des traitements de gravure et de plasma de haute qualité dans un large éventail d'applications de procédé. Autoetch 590 dispose d'un système graveur/plasma intégré, offrant un plus grand débit et une empreinte réduite pour les opérations de gravure et de plasma. LAM RESEARCH Autoetch 590 est capable de traiter des écrans plats et de grands substrats avec une gravure haute résolution et des traitements plasmatiques uniformes sur toute la zone du substrat. Avec une taille de chambre jusqu'à 12 pouces (30 cm) et une taille maximale de substrat de 10,4 pouces (26 cm), il offre une flexibilité maximale pour les grandes surfaces. Le dispositif fournit également la compatibilité avec une large gamme de chimiographies et solvants standard de gravure et plasma de l'industrie. Autoetch 590 est équipé d'un système de contrôle intégré, qui permet un contrôle et une surveillance précis de tous les processus de gravure et de plasma. Le contrôleur inclut une gamme complète de paramètres de processus pour assurer une optimisation maximale du processus. Il dispose également de plusieurs fonctions de sécurité automatiques qui garantissent la sécurité et la fiabilité d'utilisation et de fonctionnement. LAM RESEARCH Autoetch 590 est conçu pour un entretien facile, avec tous les composants accessibles depuis le côté supérieur de l'unité. Les tâches de maintenance standard, telles que les changements de filtre, peuvent être effectuées sans avoir besoin d'outils. L'unité dispose d'une vanne de débit de gaz réglable et d'un compteur de particules, permettant aux utilisateurs d'optimiser le débit de gaz pour des résultats précis. Autoetch 590 est équipé d'un système de surveillance automatisé, qui suit et enregistre les paramètres de traitement en temps réel. Cela permet aux opérateurs de mieux évaluer l'état d'avancement du processus et d'effectuer des ajustements si nécessaire. Avec une gamme de fonctions intégrées, LAM RESEARCH Autoetch 590 peut être commandé à distance depuis n'importe quel PC avec une connexion Internet. Dans l'ensemble, Autoetch 590 offre un asher et un graveur de plasma efficace, fiable et polyvalent pour une large gamme d'applications d'affichage et solaires. Avec un contrôle supérieur, une optimisation précise des processus et un entretien facile, LAM RESEARCH Autoetch 590 est l'outil idéal pour des opérations de gravure et de plasma de haute qualité.
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