Occasion LAM RESEARCH Autoetch 790 #9300198 à vendre en France
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LAM RESEARCH Autoetch 790 est un graveur/asher haute performance spécialement conçu pour répondre aux exigences des industries des semi-conducteurs, MEMS et optoélectroniques. Il dispose d'une architecture hautement configurable qui permet aux utilisateurs de l'adapter aux besoins individuels. Autoetch 790 est conçu pour fournir un contrôle de gravure précis et de faibles coûts d'exploitation tout en mettant l'accent sur la sécurité et la fiabilité. L'équipement dispose d'un système avancé de distribution de substrat de grande surface qui assure une manutention uniforme des plaquettes et peut traiter jusqu'à 8 pouces de plaquettes. L'unité de distribution de substrat de grande surface permet également le chargement de plaquettes multi-chicago et le regroupement de plaquettes. La machine est conçue avec un processus de pré-traitement entièrement automatisé du substrat qui assure la propreté du substrat et fournit des concentrations de gravure uniformes sur l'ensemble de la plaquette. LAM RESEARCH Autoetch 790 dispose également de modules numériques avancés de contrôle de la température qui permettent un contrôle précis de la température des matériaux de gravure. Ceci permet d'assurer un traitement uniforme des substrats tout en minimisant la consommation de graisseurs. Il dispose également d'une interface graphique intuitive qui aide les utilisateurs à sélectionner rapidement et facilement les paramètres de la recette, à surveiller les conditions du processus et à détecter les défauts potentiels du processus. Autoetch 790 est équipé d'un outil d'échappement efficace qui assure un impact minimal sur l'environnement en éliminant les résidus de gravure et les matières dangereuses. Il dispose également d'un actif de confinement avancé qui maintient les particules, les fumées et les produits chimiques de traitement contenus dans le modèle. Cela garantit que l'équipement ne contaminera pas l'installation ou ne mettra pas en danger le personnel. Le système est conçu avec de multiples fonctions de sécurité telles que la surveillance des pannes, les commandes de pression statiques et dynamiques, les capteurs de fin de course et les arrêts d'urgence. De plus, il est conçu pour répondre à toutes les normes de sécurité applicables et est certifié pour être utilisé dans un environnement de matières dangereuses de la classe 1, division 1, groupe D. LAM RESEARCH Autoetch 790 est un graveur/asher robuste, fiable et convivial conçu pour répondre aux exigences des industries du semi-conducteur, du MEMS et de l'optoélectronique. Il offre un contrôle de gravure précis, de faibles coûts d'exploitation et un haut niveau de sécurité et de fiabilité.
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