Occasion LAM RESEARCH C360 #293757224 à vendre en France

LAM RESEARCH C360 est un équipement de pointe conçu pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Ce système combine technologie innovante et contrôle de précision pour fournir des résultats de haute performance pour les applications critiques de gravure et d'ashing dans l'industrie des semi-conducteurs. Au cœur de l'unité C360 se trouve sa technologie avancée de traitement du plasma, qui permet l'enlèvement précis et uniforme du matériau des plaquettes semi-conductrices. La machine dispose de multiples sources de plasma, telles que les sources de plasma à couplage inductif (ICP) et les sources de plasma à couplage capacitif (CCP), qui offrent une souplesse dans l'accord et l'optimisation des processus pour un large éventail de matériaux et de structures de dispositifs. LAM RESEARCH C360 est équipé d'un design de chambre hautement configurable qui permet de personnaliser les conditions de processus pour répondre aux exigences spécifiques des différentes applications de gravure et de cendrage. La chambre dispose d'un outil de contrôle de température à double zone qui permet un contrôle précis de la température de la plaquette pendant le traitement, assurant une performance optimale du processus et l'uniformité. L'actif comprend également des capacités avancées de livraison et de mélange de gaz, avec des entrées de gaz multiples et des régulateurs de débit massique qui permettent un contrôle précis des débits et des compositions de gaz. Cela garantit une chimie plasma cohérente et des taux de gravure/cendres à travers la surface de la plaquette, ce qui donne des résultats de processus de haute qualité et fiables. En plus de ses capacités avancées de traitement du plasma, C360 modèle dispose également d'un équipement de traitement des plaquettes de pointe, conçu pour le haut débit et l'automatisation. Le système est équipé d'un gestionnaire robotique de plaquettes qui permet le chargement et le déchargement sans faille des plaquettes, ainsi que la cartographie et la détection automatiques des plaquettes pour le contrôle et la surveillance des processus. Pour assurer la fiabilité et la répétabilité des processus, l'unité LAM RESEARCH C360 est équipée de capacités avancées de surveillance et de contrôle des processus. La machine dispose de technologies de détection en temps réel, telles que la spectroscopie optique d'émission (OES) et l'interférométrie laser, qui permettent un contrôle précis des processus de gravure et de cendres, ainsi qu'une détection précoce des écarts de processus. En outre, l'outil est équipé de capacités logicielles avancées, y compris des outils de gestion des recettes et d'optimisation des processus, qui permettent aux utilisateurs de configurer et d'optimiser facilement les processus de gravure et d'ashing pour une efficacité et des performances maximales. L'atout dispose également de capacités de diagnostic et de support à distance, permettant un dépannage rapide et la résolution des problèmes pour minimiser les temps d'arrêt et garantir une performance optimale du modèle. Dans l'ensemble, l'équipement C360 etcher/asher est une solution sophistiquée et avancée pour les fabricants de semi-conducteurs qui cherchent à obtenir des résultats de haute performance dans les applications critiques de gravure et ashing. Grâce à sa technologie innovante, à son contrôle de précision et à ses fonctions d'automatisation avancées, le système offre des performances, une fiabilité et une flexibilité supérieures pour un large éventail de procédés de fabrication de semi-conducteurs.