Occasion LAM RESEARCH Chamber for 2300 Exelan Flex FX #9240243 à vendre en France

LAM RESEARCH Chamber for 2300 Exelan Flex FX est un graveur à plasma avancé et asher conçu pour l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Il fournit une gravure et un cendrage précis et fiable de divers matériaux pour une gamme d'applications de dispositifs. Un équipement automatisé de contrôle informatique gère la configuration du processus, la coordination, le développement de recettes et la collecte de données pour optimiser les résultats de production. Cette chambre dispose d'un processus Exelan Flex FX entièrement automatisé qui fournit une large gamme de conditions sélectionnables pour la gravure et l'ashing, permettant un contrôle de processus supérieur avec une intervention humaine minimale. Le système fonctionne dans une variété de tailles de chambre, de 2 à 8 pieds de largeur, et dispose d'une chambre plaquée TiN/TiCN (nitrure de titane/carbonitrure de titane) pour assurer une meilleure sélectivité de gravure et la stabilité du procédé. L'unité est également équipée d'une géométrie polyvalente de clamshell, ce qui réduit le risque de contamination par les particules tout en améliorant l'accès aux procédés et l'isolation thermique. Cette chambre offre également une surveillance et un contrôle avancés des processus. Un moniteur de puissance à cristaux de quartz multi-canaux est installé, ainsi qu'un enregistreur de pression RF, de température, de pression et de deux axes. En outre, l'Exelan Flex FX comprend deux sources de gaz pour le contrôle indépendant de la polarisation RF et DC, permettant un réglage de procédé pour une sélectivité maximale de gravure et une production améliorée. Un chargeur/déchargeur robotique automatisé est également installé, offrant des délais de traitement rapides pour chaque lot chargé ou déchargé. La chambre est conçue pour accueillir un large éventail de recettes et d'options de processus, y compris la gravure de divers matériaux tels que le silicium, l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium et les métaux. La conception modulaire de la chambre et les outils intégrés permettent un réglage rapide et efficace pour obtenir les meilleurs résultats de processus pour chaque application. En outre, la machine est compatible avec une variété de types de lots, y compris les plaquettes simples, jusqu'à de petits lots de plaquettes de 800-150 mm. Chambre pour 2300 Exelan Flex FX est un graveur/asher exceptionnellement avancé, fiable et polyvalent utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Ses fonctionnalités avancées offrent aux utilisateurs un maximum de contrôle et de flexibilité pour des résultats de processus exceptionnels.