Occasion LAM RESEARCH Chamber for Kiyo 45 #293609001 à vendre en France

ID: 293609001
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
12" 2008 vintage.
LAM RESEARCH Chamber for Kiyo 45 est un graveur/asher conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. Il est capable de charger en toute sécurité jusqu'à 200 plaquettes à la fois et est équipé d'un équipement breveté de contrôle des gaz pour améliorer l'efficacité et la précision. Ce système fournit un environnement de processus uniforme et cohérent pour tous les modules de traitement afin que la qualité du produit soit cohérente et fiable. La chambre offre également un retournement rapide, avec des temps de traitement des plaquettes aussi bas que 4 minutes pour certaines plaquettes. La conception de la chambre du Kiyo 45 aide à protéger l'environnement intérieur et à réduire la contamination. Une unité indépendante de filtration de l'air est incluse pour assurer une atmosphère propre et maintenir les particules au minimum. La chambre comporte également un certain nombre d'éléments de sécurité, tels qu'une machine de détection des fuites de gaz, un outil de détection d'incendie et une vanne d'arrêt d'urgence. Le Kiyo 45 dispose à la fois d'un mode de fonctionnement manuel et automatique. En mode manuel, les utilisateurs peuvent accéder aux fonctions de la chambre, telles que les réglages de température et de pression, et aux paramètres de traitement, directement via l'interface utilisateur sur l'écran d'affichage. En mode automatique, la chambre est programmée et surveillée par l'outil d'automatisation embarqué pour améliorer le contrôle et l'efficacité des processus. Le Kiyo 45 est équipé d'un générateur de plasma à transistor sec et d'un modèle avancé de délivrance de faisceau de gaz. Cela permet une gravure précise et rapide dans un environnement basse pression et basse température. L'équipement de distribution du faisceau de gaz contrôle et automatise finement le mélange de gaz et les débits, offrant une résolution et une répétabilité plus élevées. Le système de régulation de température avancé du Kiyo 45 est conçu pour assurer une performance optimale du processus humide, ce qui améliore la qualité du film. La chambre est également capable de stocker toutes les données associées à chaque plaquette et processus, permettant aux utilisateurs de suivre l'historique des plaquettes et de faire des évaluations statistiques et diagnostiques. Le Kiyo 45 est extrêmement polyvalent, capable de s'attaquer à toutes sortes d'applications, telles que la planarisation mécanique chimique (CMP), le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), la gravure et le cendrage. En tant que tel, il s'agit d'un dispositif essentiel pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est fiable, très efficace et offre une excellente qualité et répétabilité des processus.
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