Occasion LAM RESEARCH Chambers for 2300 Exelan Flex #9393585 à vendre en France

LAM RESEARCH 2300 Exelan Flex Etcher/Asher est conçu avec des techniques de gravure et de cendrage avancées en tête. Cette chambre innovante de LAM RESEARCH offre une couverture et une flexibilité maximales dans les processus de gravure et de cendrage par voie humide et sèche. Cette chambre comprend une technologie de pointe telle que le plasma tridimensionnel qui supporte la gravure cryogénique et le desmear, la gravure ionique réactive profonde, et le plasma ashing. Il dispose également d'une porte de processus automatisée qui assure un accès rapide et facile aux échantillons sans nécessité d'alignement manuel. La chambre a également une basse de 75 torr et une plage de pression de 1 à 2 milliTorr. Le 2300EXP est équipé de plusieurs fonctionnalités conçues pour maximiser le rendement du processus et réduire les temps d'arrêt. Les caractéristiques comprennent une fonction de contrôle de l'uniformité qui assure des processus uniformes sur les substrats de grande surface et un système d'échappement du procédé qui permet l'évacuation rapide de la chambre à la pression désirée une fois la plaquette cuite. Les caractéristiques de l'Exelan Flex 2300 comprennent également un raccord de tuyau métallique, un chauffe-film inerte, un hucking électrostatique multi-armé, et la capacité pour les processus cryogéniques. Il dispose d'un support automatique de bras escamotable, d'un panneau de gaz inerte, de soupapes automatiques de gaz et d'un gâteau d'alignement de plaquettes. La chambre comprend également des systèmes automatisés de manutention du gaz, du plasma et des plaquettes qui permettent une exécution rapide et efficace du processus. Un système intégré de surveillance des processus permet de vérifier les erreurs et peut détecter les fluctuations de vitesse de gravure et d'ashing et les instabilités de processus. Les échantillons peuvent également être surveillés et vérifiés pour détecter toute irrégularité ou défaut avant leur achèvement. L'encombrement global de la chambre est de 26 "w x 32" d x 35 "h et la chambre a la capacité de traiter huit plaquettes de 2" ou quatre plaquettes de 4 ". Il est compatible avec de nombreuses sources de plasma, y compris les plasmas à couplage inductif, la fréquence radio et les plasmas de polarisation. L'apport total en gaz de la chambre est de 1,4 litre/minute. Dans l'ensemble, le 2300 Exelan Flex de LAM RESEARCH est un graveur/asher avancé qui combine flexibilité et polyvalence avec un contrôle fiable et cohérent des processus. Cette unité peut accueillir une large gamme de recettes de gravure et de cueillette et fournit une excellente uniformité et fiabilité pour les processus multi-étapes de gravure et de cueillette humides et secs.