Occasion LAM RESEARCH / DRYTEK 384T AMN #9386131 à vendre en France

LAM RESEARCH/DRYTEK 384T AMN dry etcher/asher est un outil spécialement conçu pour des applications nécessitant une gravure précise et une cueillette simultanée de plusieurs couches. Cet équipement est capable de générer des taux élevés de gravure et de cendrage, avec une grande homogénéité, répétabilité et fiabilité de couche. Il offre des caractéristiques de gravure et d'ashing dans un design compact et fiable. DRYTEK 384T AMN utilise une conception de source de plasma en trois étapes pour la gravure et l'ashing. Cette conception se compose d'un générateur RF, d'une source de plasma haute densité et d'un équipement sous vide. Le générateur est capable de fournir jusqu'à 8 000 watts de puissance, permettant des vitesses de gravure et de cueillette élevées. La source de plasma haute densité fournit une gravure uniforme et répétable qui permet de contrôler la granularité du processus de gravure. Le système de vide est capable d'une pression de base inférieure à 1 mTorr, créant un environnement propre, sec gravure/cendres. LAM RESEARCH 384T AMN utilise également une conception de chambre capable de cycler thermiquement le processus de gravure. Cela permet d'améliorer les performances et la fiabilité de la gravure. En outre, la chambre intègre une disposition droite d'aimant pour une génération de plasma haute densité accrue et une uniformité de processus supérieure. La chambre est également équipée d'un bateau à plaquettes de quartz, indispensable pour un cyclage thermique rapide, et d'un collecteur de distribution de gaz capable de contrôler avec précision le débit de gaz pour une gravure et une cueillette précises et répétables. 384T L'unité AMN est équipée d'un large éventail d'outils de processus tels qu'une machine de détection des points d'extrémité, un outil d'injection de gaz diagnostique, un outil d'interception et un modèle de surveillance des sources de plasma. Ces outils aident à améliorer le contrôle des processus et permettent au graveur/asher d'obtenir des résultats uniformes et reproductibles. En conclusion, LAM RESEARCH/DRYTEK 384T AMN dry etcher/asher est un outil efficace et fiable pour graver et aspirer plusieurs couches simultanément. Il utilise une conception de source de plasma en trois étapes, une conception de chambre capable de cycler thermiquement, et un large éventail d'outils de processus pour fournir une gravure et un cendrage précis. Toutes ces fonctionnalités en font un outil idéal pour une grande variété d'applications.