Occasion LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #9036715 à vendre en France

LAM RESEARCH/DRYTEK 384T est un équipement de graveur/asher conçu pour la fabrication de couches de dispositifs semi-conducteurs. C'est une plate-forme etcher/asher complète avec une interface utilisateur qui permet un accès facile aux différentes fonctions du système. Cette unité peut graver sous plusieurs angles différents allant de 0 ° à 45 ° afin d'assurer une sélectivité maximale entre les différentes étapes du procédé. En outre, il est capable d'atteindre un taux de processus jusqu'à 100nm/min grâce à sa technologie de pointe qui comprend un générateur de micro-ondes par lots haute performance, un détecteur de point d'extrémité haute résolution, et une machine de contrôle automatique de recette. Le processus de gravure peut être encore optimisé pour les besoins du dispositif grâce à l'utilisation du détecteur de point d'extrémité à haute résolution dont l'outil est équipé. DRYTEK 384T est conçu pour former des canaux efficaces de 150 à 300mm de largeur. Il est également capable d'obtenir un rapport d'aspect jusqu'à 50:1, ce qui permet la gravure de caractéristiques sub-microns et de couches diélectriques avec une excellente forme et uniformité. En outre, l'actif comprend trois chambres de processus, chacune fournissant des capacités différentes. La première chambre concerne le contrôle des dépôts et dispose d'un mécanisme de dépôt efficace de résine photosensible avec des matériaux cibles. Les deuxième et troisième chambres sont exclusivement dédiées à la gravure et au polissage des plaquettes. La troisième chambre est utilisée pour le nettoyage des plaquettes après gravure. En outre, LAM RESEARCH 384T est équipé de deux sources de plasma avancées, qui fournissent un niveau supplémentaire de polyvalence en termes de processus de gravure. En outre, ce modèle offre également diverses fonctionnalités pour assurer la sécurité pendant le fonctionnement. Une chambre de procédé est équipée d'un équipement de refroidissement qui maintient la chambre à une température stable. De plus, de multiples barrières et boucliers empêchent l'exposition possible des gaz volatils de la chambre de procédé. En outre, 384T comprend plusieurs serrures de sécurité et un rideau de gaz à grande vitesse pour protéger les opérateurs et le personnel contre les gaz dangereux. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH/DRYTEK 384T est une excellente plate-forme de graveur/asher pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un choix idéal pour les chercheurs et les expérimentateurs grâce à sa polyvalence, son efficacité et ses caractéristiques de sécurité.