Occasion LAM RESEARCH / DRYTEK 384T #9384902 à vendre en France
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ID: 9384902
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1995
Triode plasma etch systems, 6", part system
Chamber
1995 vintage.
LAM RESEARCH/DRYTEK 384T Etcher/Asher est un équipement de haute performance et de haute production utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour graver et aspirer des matériaux durs tels que le métal et le silicium. Ce système est conçu pour des procédés fiables et reproductibles qui sont nécessaires à la production de performances optimales du dispositif. DRYTEK 384T est une unité de gravure monobloc qui utilise une combinaison d'un procédé de gravure thermique à haut flux et plasma pour atteindre les caractéristiques souhaitées du dispositif. La machine peut délivrer des taux de gravure et de cueillette jusqu'à cinq fois plus rapides que les autres systèmes, ce qui permet d'augmenter le débit et d'améliorer le rapport coût-efficacité. La chambre est conçue pour une dissipation de chaleur efficace et utilise une combinaison de l'isolation thermique, la gestion de la charge thermique et les technologies de scellement des processus. L'outil offre également un certain nombre d'options de personnalisation de processus, y compris la possibilité de graver un large éventail de matériaux dans différentes géométries, ce qui le rend adapté à une large gamme d'applications de semi-conducteurs. L'actif LAM RESEARCH 384T est également équipé d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, tels qu'un épurateur à ozone, un épurateur à oxygène et un épurateur à azote, ainsi que d'un moniteur de gaz in situ, afin d'assurer une sécurité et une performance environnementale optimales. Le modèle offre également une variété de fonctions de contrôle avancées, telles qu'un équipement de contrôle de pression avancé, un enregistreur de temps et de température in situ, un système d'arrêt automatique, une capacité de démarrage automatique, une unité de contrôle de débit et une machine de contrôle basée sur des recettes. Cette combinaison de fonctionnalités avancées permet d'améliorer le contrôle et l'optimisation des processus, ce qui rend l'outil adapté à une variété d'exigences de production. En outre, 384T est extrêmement économe en énergie, utilisant jusqu'à 25 % moins d'énergie que d'autres systèmes comparables, réduisant considérablement les coûts opérationnels et l'impact environnemental. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH/DRYTEK 384T Etcher/Asher est une solution robuste et performante pour la production de dispositifs semi-conducteurs, offrant un meilleur débit, un contrôle des processus personnalisé et une efficacité énergétique.
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