Occasion LAM RESEARCH / DRYTEK Quad #9038448 à vendre en France

LAM RESEARCH/DRYTEK Quad est un appareil de graveur et d'asher de pointe utilisé dans le traitement des dépôts en couches minces et de la photolithographie. Le système est composé de quatre chambres, chacune présentant une source de plasma indépendante. Les chambres fonctionnent en tandem, permettant la gravure simultanée et/ou la cueillette de films multiples. Ce procédé est idéal pour le dépôt de couches minces et permet les avancées futures de la photolithographie basée sur la fabrication de microstructures optiques. La première chambre est utilisée principalement pour la gravure à base d'oxygène. Il se compose d'une cathode en acier inoxydable et d'une anode en quartz. La cathode est alimentée par une tension continue réglable qui peut être gérée depuis le panneau avant afin de contrôler le processus. Un générateur RF alimente l'anode de quartz, dont la fonction est de produire un plasma riche en oxygène et d'assurer une vitesse de gravure uniforme. Les deuxième et troisième chambres sont toutes deux utilisées pour l'ashing, mais la troisième dispose également d'une cathode réglable. Les troisième et quatrième chambres présentent une source de carbone qui est injectée dans leurs plasmas étanches à l'aide d'un régulateur de débit massique. La quatrième chambre est conçue pour la gravure et fournit en outre une enveloppe en quartz pendant le processus. Cela rend l'ensemble extrêmement sûr tout en favorisant la connectivité et la compatibilité avec les autres chambres. La machine dispose également d'un contrôleur logique programmable (PLC) qui est utilisé pour régler les énergies ioniques et le débit des gaz utilisés dans chacune des chambres. Cela permet un contrôle précis des processus de gravure et d'ashing qui est vital pour les applications optoélectroniques. Enfin, l'outil est entièrement piloté par ordinateur, permettant une automatisation détaillée basée sur des recettes. Cela permet un niveau plus élevé de répétabilité, ainsi que la capacité de surveiller chaque opération en temps réel. En conclusion, DRYTEK Quad est un atout de graveur et asher polyvalent et puissant. Ses caractéristiques avancées en font un outil idéal pour le dépôt de couches minces et le traitement de la photolithographie. La flexibilité du PLC combinée au contrôle précis offert par les cathodes réglables et le linceul de quartz font du modèle un atout précieux dans tout laboratoire optoélectronique.