Occasion LAM RESEARCH Exelan A6 #9090420 à vendre en France
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Vendu
ID: 9090420
Taille de la plaquette: 8"
Dual frequency oxide chamber, 8"
Plasma Monitoring, 27/2 MHz
(1) 8" Chamber
Osaka Helical Groove Vacuum Turbo Pump & Controller Model TS443EN
ENI Dual Frequency RF Generator Model OB1-03, and Match set
RF output 2.5kW @1.8 MHz and 10kW max at 27MHz
HP Vectra Xu 6/200 computer with Lam Exelan Software
RF
Gas box
Plasma monitoring system upgrade included:
BICEP Monitor
BIAS Monitor
Polarity RVS
Polarity RVS RTN
Esc set point
Esc monitor
Missing:
6" Right-angle valve
Controller for the helical-groove-pump.
LAM RESEARCH Exelan A6 est une gravure/cendres conçue pour la production en grand volume de microstructures gravées de haute qualité. C'est une solution économique et fiable pour les fabricants en raison de sa capacité à accueillir des modules de processus standard qui peuvent être facilement reconfigurés pour de multiples processus tels que la gravure ionique réactive profonde (DRIE), Bosch Process et la gravure humide. Exelan A6 dispose d'une construction entièrement métallique avec des chambres amovibles enfermées dans une enceinte de sécurité stricte abritant toutes les zones de processus. De plus, LAM RESEARCH Exelan A6 comprend une interface logicielle propriétaire, qui permet aux utilisateurs de configurer rapidement et avec précision l'équipement pour une variété de paramètres. Les principales caractéristiques d'Exelan A6 sont des mécanismes de sécurité intégrés qui contrôlent la pression, la température et le timing. La pression, la température et le timing peuvent être réglés par le logiciel dédié, ce qui réduit le risque d'endommager les composants. En outre, le système est équipé de trois vecteurs redondants, de trois lasers indépendants et de trois récipients à pression distincts, permettant une gravure efficace de plusieurs couches avec différents types de gaz de gravure. RECHERCHE LAM Exelan A6 fournit également des fonctions automatiques marche/arrêt, amortissement des vibrations et un bouton d'arrêt d'urgence. Cela garantit une sécurité maximale de l'utilisateur et de l'environnement de la plante. Exelan A6 est conçu pour réduire les risques de dommages et de contamination associés aux substrats. Il est capable de produire des résultats très précis et fiables tout en utilisant des produits chimiques compatibles avec les substrats, ce qui garantit la qualité du produit final. De plus, la machine comprend également des solutions automatisées de métrologie pour l'examen microscopique continu et de faible puissance des microstructures gravées. Cela permet aux utilisateurs de surveiller les structures gravées et de détecter les éventuels défauts et écarts par rapport au résultat souhaité. De plus, LAM RESEARCH Exelan A6 dispose de tous les dispositifs de sécurité nécessaires pour protéger l'utilisateur contre les dangers potentiels, tels que les étincelles et les incendies. Dans l'ensemble, Exelan A6 est un outil avancé, fiable et sûr pour la production de gravures/cendres. Les mécanismes de sécurité intégrés réduisent les risques de contamination et de dommages associés aux substrats, tandis que le matériel et le logiciel intégrés permettent des résultats rapides, précis et fiables. De plus, les solutions automatisées de métrologie permettent une évaluation continue des microstructures gravées, garantissant la qualité souhaitée du produit final. Toutes ces caractéristiques font de LAM RESEARCH Exelan A6 un excellent choix pour les fabricants.
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