Occasion LAM RESEARCH Exelan Flex 45 #9157701 à vendre en France

LAM RESEARCH Exelan Flex 45 est un graveur et asher conçu pour effectuer des processus de gravure et ashing spécifiques à une application. Il est basé sur la plateforme fiable et polyvalente Exelan Flex Platform, qui s'est avérée offrir des performances et des rendements supérieurs pour une gamme d'applications, y compris la photolithographie, les semi-conducteurs et la fabrication de MEMS. Il utilise des procédés et des technologies de pointe tels que la manutention des plaquettes, l'uniformité, la haute précision, la gravure tolérante aux défauts, et le cendrage à base de HF et SF, vous donnant la flexibilité de produire des rendements plus élevés à moindre coût. Il offre également une gamme de fonctionnalités automatisées pour un fonctionnement et une surveillance faciles, comme le contrôle de la température, la surveillance des processus, la surveillance des substrats, le contrôle manuel et le diagnostic, vous fournissant des données et un contrôle plus important. Le Flex 45 dispose d'une chambre de traitement en acier inoxydable 304L d'une taille maximale de 450 x 450 x 500 mm, lui permettant d'accueillir de plus grands substrats et des plaquettes de traitement jusqu'à 300 mm. Il comprend un équipement de distribution de gaz de procédé basé sur le dioxyde de carbone (CO2), qui utilise une combinaison de micro-ondes et de plasma chaud pour créer des faisceaux d'ions à haute densité afin d'améliorer la sélectivité et deux mélangeurs de gaz pour la livraison de gaz précurseurs et de gaz agents. Un graveur ECR intégré est également proposé, capable d'obtenir une grande sélectivité de gravure avec un courant de fuite exceptionnellement faible. En outre, il offre un traitement plasma avant ou après un processus de gravure, et est capable de manipuler plusieurs plaquettes à la fois. Le Flex 45 est une plate-forme de traitement de plaquettes 24/7 rentable, offrant uniformité, uniformité de film, et dispose de serrures de charge chauffées et de postes de buse, vous permettant de changer rapidement les types de plaquettes et les mélanges de gaz avec un minimum de temps d'arrêt. Le logiciel de processus est conçu pour répondre à vos besoins spécifiques d'application, avec une interface utilisateur graphique intuitive (UI) qui permet un paramétrage facile et le contrôle du système. L'unité est de conception modulaire, ce qui lui permet d'être configurée pour d'autres applications telles que le traitement d'oxyde, de nitrure et de silicium sur isolant (SOI), ainsi que pour les procédés de dépôt et de fond. Il propose également des équipements optionnels tels que des procédés améliorés en plasmique ou en lumière et une machine d'inspection optique intégrée. Exelan Flex 45 est parfait pour les applications semi-conductrices et MEMS qui nécessitent des processus de gravure et d'ashing de précision. Ses fonctionnalités avancées et son logiciel convivial le rendent facile à utiliser, tout en offrant la flexibilité et les performances nécessaires pour répondre aux exigences des applications semi-conductrices et MEMS les plus difficiles. Il est le graveur/asher idéal pour atteindre des rendements maximums à un prix rentable.