Occasion LAM RESEARCH Exelan #293615013 à vendre en France
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ID: 293615013
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Etcher, 12'
2006 vintage.
RECHERCHE LAM Exelan est un graveur/asher conçu pour assurer un contrôle précis des taux de gravure et de l'uniformité. Les caractéristiques de la chambre de gravure sont assez grandes pour accueillir le traitement jusqu'à 8 pouces wafer. Exelan est capable de s'adapter à une variété de substrats tels que le silicium, le quartz et d'autres. RECHERCHE LAM L'équipement de gravure de bureau d'Exelan dispose d'une interface simple de contrôle de processus qui permet un traitement automatisé. Il utilise un puissant algorithme de contrôle de processus pour faciliter la vitesse de rampe plus rapide et le contrôle précis de la vitesse de gravure. Il dispose d'un matériel conçu sur mesure qui supporte une large gamme de recettes de processus de gravure, permettant un contrôle de gravure précis pour chaque substrat. Le système de vide à plate-forme d'Exelan utilise une configuration de pompe à double diffusion pour fournir un niveau élevé de vide. Il dispose d'un microcontrôleur dédié et d'une boucle de rétroaction laser pour contrôler la pression de la chambre afin de réduire la contamination des particules. L'etcher est conçu pour supporter une gamme de systèmes de flux de production. Il est également équipé de mécanismes de sécurité qui limitent les fluctuations de pression de vide induites par la gravure et assurent la sécurité de l'opérateur et de l'équipement. LAM RESEARCH L'unité Exelan est configurée pour être utilisée avec la substance chimique de choix. Il dispose de deux ports de remplissage et de vidange, où les produits chimiques secs peuvent être reçus et les produits chimiques utilisés peuvent être enlevés. Il comprend également un orifice d'échappement sous vide pour enlever en toute sécurité les produits gazeux du procédé de gravure. Exelan est une machine de gravure fiable et fiable qui fournit un profil de gravure haute résolution. Il a été conçu pour offrir une compatibilité multiplateforme et permet aux utilisateurs de passer entre différents fabricants avec un minimum d'effort. Il utilise une stratégie avancée de contrôle de la profondeur de gravure qui minimise la non-uniformité de la profondeur de gravure et assure un résultat de gravure toujours précis. LAM RESEARCH Exelan est un outil de graveur rapide et économique qui permet d'obtenir des résultats reproductibles et de grande qualité. Il est idéal pour une variété d'applications de gravure comme MEMS, rapport d'aspect élevé, gravure arrière embarquée, et bien plus encore. Il offre une flexibilité et un faible coût de possession, ce qui en fait un choix idéal pour les établissements industriels et universitaires.
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