Occasion LAM RESEARCH Exelan #9235217 à vendre en France

LAM RESEARCH Exelan est un équipement de gravure/cendres de précision conçu pour répondre à des exigences de gravure complexes avec un débit et une qualité élevés. Il offre trois sources de plasma différentes pour permettre une performance optimale du procédé de gravure sur une large gamme de substrats, y compris les oxydes et les nitrures de faible k, ultra-faible k (ULK). Le système Exelan se compose d'une chambre à loadlock, d'une chambre à vide et d'une unité robotique de transfert de substrat avec jusqu'à trois sources de plasma. LAM RESEARCH Exelan est conçu pour un débit et une flexibilité maximum, permettant un échange de substrat dans chaque chambre et des temps de cycle courts. Ses trois sources de plasma offrent des solutions de gravure rentables et flexibles, de la gravure à basse pression à effondrement contrôlé (CCLP) au dépôt chimique en phase vapeur à pression atmosphérique (APCVD) et au dépôt par couche atomique (ALD). La source de gravure CCLP d'Exelan utilise la technologie avancée de générateur hyperfréquence et d'antenne pour assurer un processus de gravure haute performance avec des résultats fiables. Le plasma de la torche et les sources de plasma en aval de la machine permettent une sélectivité supérieure et des taux de gravure élevés avec des énergies ioniques faibles pour les matériaux sensibles tels que les oxydes de LHDP et d'ALD. Les sources de plasma sont conçues pour un entretien facile et des niveaux de fiabilité exceptionnels dans des environnements de production difficiles avec de longues périodes de disponibilité. LAM RESEARCH L'outil Exelan est conçu avec une puissante plate-forme logicielle qui offre des capacités avancées de contrôle des processus, y compris des recettes optimisées pour différents types de substrat. Ces contrôles avancés facilitent la précision de gravure élevée, la répétabilité et le débit maximal dans les applications où des résultats de haute qualité sont nécessaires. Avec sa conception robuste et son interface logicielle intuitive, Exelan permet un processus de gravure simplifié. De plus, LAM RESEARCH Exelan est une solution économique et adaptable qui répond efficacement aux exigences de l'industrie des semi-conducteurs. Avec ses sources de plasma innovantes, ses fonctions avancées de contrôle des processus et ses logiciels sophistiqués, Exelan est un atout de gravure/cendres fiable et puissant.