Occasion LAM RESEARCH Extrima 3100 #293820193 à vendre en France

LAM RESEARCH Extrima 3100 est un graveur/asher de haute performance et est l'un des systèmes de gravure plasma les plus fiables et efficaces sur le marché. Grâce à une technologie haute pression et un contrôle précis, Extrima 3100 offre une qualité de gravure supérieure, une uniformité améliorée et un rendement de plaquette plus élevé. L'etcher/asher comprend une gamme de fonctionnalités pour assurer des opérations fiables et répétables dans les applications critiques. La chambre est conçue pour des temps de cycle courts afin d'améliorer le débit des plaquettes jusqu'à 40 % par rapport aux méthodes traditionnelles. Les parois des chambres en acier inoxydable sont revêtues d'une combinaison de matériaux pour assurer l'uniformité et la précision du processus de gravure. Le matériel de LAM RESEARCH Extrima 3100 comprend 6 sources Electron Cyclotron Resonance (ECR) pour fournir une puissance radiofréquence précise et efficace. Il dispose également de l'équipement avancé d'injection de gaz substrats (ASGIS) fournit un mélange précis de gaz de gravure et de nettoyage. Au cœur du système se trouve l'unité automatisée Electrostatic Chuck qui saisit solidement les plaquettes pour obtenir des résultats de nettoyage optimaux. Les composants logiciels d'Extrima 3100 facilitent le contrôle précis du processus, y compris le mélangeur à gaz, la surveillance du processus et le contrôle de la rétroaction. Ces caractéristiques permettent aux opérateurs d'ajuster les paramètres de la recette de plasma tels que pression, mélange de gaz, gaz de réapprovisionnement, gaz d'échappement et température. La machine offre également la surveillance environnementale de la chambre pour s'assurer de la précision du processus et de détecter les variables non établies. LAM RESEARCH Extrima 3100 est conçu pour manipuler des plaquettes allant de 50mm à 300mm et est idéal pour toute gravure semi-conductrice critique ou processus de gravure/nettoyage. Sa qualité de construction avancée lui permet d'être utilisé dans diverses industries telles que l'affichage de panneaux plats, l'emballage MEMS et MEMS, la fabrication de LED, de dispositifs de stockage et d'autres techniques de fabrication de plaquettes semi-conductrices. L'outil est compatible et facile à intégrer avec de nombreux outils internes pour offrir une flexibilité maximale à une ligne de production automatisée.