Occasion LAM RESEARCH Extrima 3100 #9270994 à vendre en France

LAM RESEARCH Extrima 3100 est un équipement de pointe conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Le système utilise un procédé basé sur le vide pour graver des motifs ou des caractéristiques dans un matériau de substrat. Le procédé de gravure utilise le plasma, les ions réactifs et les gaz volatils pour créer des motifs de géométries, de tailles et de profondeurs variables. L'unité Extrima 3100 est souvent désignée comme un graveur diélectrique et est optimisée pour des procédés tels que le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma (PECVD), la gravure sèche et la gravure par ions réactifs profonds (DRIE). La machine est alimentée par une alimentation en courant continu multi-source, fournissant une puissance maximale de 25kW. Il est conçu pour fournir un débit élevé, une excellente uniformité, un contrôle de processus serré, et des temps d'exécution de processus rapides. LAM RESEARCH Extrima 3100 est équipé d'un certain nombre de fonctionnalités et de capacités qui en font une option attrayante pour la fabrication de semi-conducteurs. Il offre une gamme de fonctions de contrôle de processus qui permettent aux utilisateurs de programmer et d'ajuster avec précision et facilité les paramètres de processus tels que la puissance RF, la fréquence RF, la pression de gaz, le timing et les pressions de processus. L'outil est également capable d'effectuer des analyses de processus sophistiquées, comme la collecte de points de données pour fournir des résultats détaillés du processus. De plus, l'actif peut générer des cartes de wafer complètes et traiter des rapports d'historique. Extrima 3100 utilise un modèle de sécurité innovant, conçu pour protéger les utilisateurs des dangers potentiels. Son équipement de sécurité comprend des portes de décompression, des embouts de sécurité, des moniteurs de température, de débit et de gaz, et un bouton d'arrêt d'urgence. Ce système peut également être configuré avec des soupapes d'isolation de pompe à getter non évaporable (NEG) pour limiter davantage les risques potentiels. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Extrima 3100 est une unité de graveur/asher puissante et fiable. Ses caractéristiques et ses capacités en font une solution parfaite pour la fabrication de semi-conducteurs. Sa précision, sa sécurité et sa facilité d'utilisation en font une option indéniablement attrayante pour tout procédé de fabrication.