Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #293587510 à vendre en France
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LAM RESEARCH Flex 45 est un outil de gravure et d'asher monobloc qui offre une large gamme de contrôle de processus et de flexibilité. Avec un design de chambre de pointe de l'industrie, il comprend une technologie brevetée comme l'entraînement programmable et le contrôle actif des fluides, une uniformité de processus avancée, et un contrôle supérieur des particules. Cela le rend idéal pour les MEMS, la nanofabrication et d'autres applications nécessitant des processus de gravure et d'ashing précis. Son architecture interne est conçue pour une gravure et un cendrage parallèles monobloc, permettant une uniformité de processus élevée et avancée. Cela en fait un excellent choix pour les applications de gravure et d'ashing dans une variété d'applications de semi-conducteurs. Flex 45 dispose d'une chambre de grande surface qui supporte différents processus dans une plate-forme unique. Il est livré avec une conception de turbocompresseur et une gamme de mV et nA précision gravure et ashing technologies qui sont optimisées pour gérer une grande variété d'applications. Avec un système de contrôle de débit actif, il assure une grande uniformité des processus de gravure et d'ashing en ajustant automatiquement les débits et les pressions. En outre, sa technologie de contrôle des processus réduit le coût total de possession et fournit un contrôle avancé des processus et une uniformité pour les applications de gravure et d'ashing. Cette gravure et cendrier offre également un contrôle supérieur des particules avec des solutions de filtrage avancées qui garantissent des chambres de gravure et de cendrage propres et sans particules. Il est construit avec des capacités d'ingénierie avancées telles que l'autodiagnostic et la surveillance à distance, qui assurent une disponibilité optimale et des performances fiables. Il dispose également de nombreuses caractéristiques de sécurité, y compris des capteurs et des emboîtements pour la prévention des dommages aux wafers et aux composants de processus. Dans l'ensemble, LAM RESEARCH Flex 45 est une gravure et une asher vraiment uniques avec une multitude de fonctionnalités qui garantissent une qualité supérieure et des performances fiables dans une gamme d'applications. Couplant contrôle de processus avancé et uniformité, contrôle des particules supérieur, et excellente fiabilité et disponibilité, Flex 45 est un choix idéal pour les applications nécessitant une gravure et une cendre de précision.
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