Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #293652872 à vendre en France

LAM RESEARCH Flex 45 est un graveur/asher de haute précision conçu pour permettre un traitement ultra-précis et fiable des substrats complexes et des applications dans les domaines de la gravure et de la cendre. Avec un contrôle avancé du mouvement et de la température, il offre une uniformité de processus supérieure, un débit élevé et un contrôle dimensionnel fonctionnel serré pour les applications critiques dans l'industrie de la microélectronique. Flex 45 est équipé d'une capacité de gravure par plasma à couplage capacitif (CCP) à champ plein, véritable isotrope, couplée à une technologie micro-électroluminescente pour fournir des performances de gravure extrêmement haute résolution. En assurant un meilleur contrôle du couplage énergétique et de la densité de puissance pendant le processus, LAM RESEARCH Flex 45 peut réduire le temps de traitement et minimiser les effets secondaires indésirables dus à une exposition plasma non uniforme qui peut causer des incohérences de traitement. En outre, Flex 45 offre un contrôle de processus avancé avec un contrôleur puissant qui permet la surveillance de processus en temps réel afin d'ajuster rapidement l'exposition, la température et d'autres paramètres. Il est solidement construit avec un cadre structurel robuste et une chambre en acier inoxydable qui a été conçu pour fournir une excellente stabilité thermique et mécanique dans un large éventail de conditions de processus. Le système dispose également d'un système sophistiqué de gestion du gaz inerte (IGMS) qui offre une gestion du gaz contrôlée par recette très précise et répétable. Ceci garantit un processus plasma fiable et efficace, complété par un contrôle serré des paramètres du procédé, pour la production de gravure ou de cendres à haut rendement. Enfin, LAM RESEARCH Flex 45 comprend un terminal d'interface et de communication (TIC) complet, qui aide à gérer tous les aspects du contrôle automatisé des processus et de l'acquisition de données. Ce terminal aide à réduire le temps et l'effort de programmation et permet aux opérateurs d'accéder facilement aux recettes et de configurer les paramètres. Il dispose de fonctions de surveillance des erreurs, d'enregistrement de paramètres et d'affichage variable, ainsi que d'une interface utilisateur intuitive. Cela en fait un outil puissant pour les processus de gravure et de cueillette de précision.