Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #9241255 à vendre en France

LAM RESEARCH Flex 45 Asher est un outil de haute précision pour effectuer des processus de gravure par voie humide et sèche. Cet équipement est conçu pour fournir des capacités de gravure et de nettoyage de précision, avec un contrôle précis de la latitude et de la flexibilité. Les caractéristiques uniques du Flex 45 comprennent une chambre de gravure puissante, autonome, à faisceau d'ions, une large gamme de procédés de gravure et de nettoyage disponibles, et la capacité de traiter les matériaux souples et durs. L'équipement est capable de contrôler à la fois le déplacement linéaire et le déplacement en rotation, ainsi que d'effectuer des processus multi-étapes. LAM RESEARCH Le système Flex 45 comprend une chambre étanche contenant une source de plasma à basse température qui sert à graver et nettoyer les substrats. Cette source de plasma est conçue pour la gravure sacrificielle et sélective, ainsi que pour le nettoyage à sec. Flex 45 contient également un bras robotique avec la capacité de déplacer les substrats vers et hors de la position de traitement, ainsi que l'orientation précise et le positionnement de l'angle. Avec son bras robotique, LAM RESEARCH Flex 45 contient également une unité de contrôle de processus, équipée d'un logiciel PC, d'un enregistreur de données et d'un chronomètre pneumatique, pour un chronométrage et un contrôle précis du processus de gravure. La flexibilité de Flex 45 s'est avérée être le principal point de vente car l'outil a été conçu pour effectuer divers processus de gravure sur divers ensembles de matériaux. LAM RESEARCH Flex 45 est capable d'effectuer des gravures RIE et DRIE, ainsi que des gravures de bandes, avec des processus à la fois simples et multi-étapes. De plus, le Flex 45 peut fournir un procédé de gravure par faisceau d'ions, qui est une technique idéale pour les matériaux difficiles à graver, comme le nitrure d'aluminium. En plus de ces processus de gravure spécialisés, LAM RESEARCH Flex 45 comprend également des processus de gravure et de nettoyage par voie humide, ainsi qu'une vaste gamme de cycles de préconditionnement pour assurer le plus haut niveau de répétabilité et de précision du processus. La machine de fonctionnement intuitive de Flex 45 permet aux utilisateurs de contrôler pratiquement tous les paramètres essentiels à un processus de gravure ou de nettoyage réussi. L'outil entièrement automatisé de contrôle des processus fournit à LAM RESEARCH Flex 45 la capacité d'autosurveillance, en s'assurant que chaque étape du processus est effectuée correctement et efficacement. Le grand nombre de processus disponibles, jumelés à ses capacités d'automatisation avancées, font du Flex 45 un outil idéal pour toute tâche de gravure ou de nettoyage.