Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #9260520 à vendre en France

LAM RESEARCH Flex 45 est un graveur/asher de haute précision idéal pour le traitement des plaquettes de précision. Il est développé spécifiquement pour améliorer la productivité et la polyvalence. L'outil fournit un processus en mouvement continu se traduisant par un débit élevé et des temps de cycle courts. Flex 45 offre des résultats supérieurs à des débits élevés avec une combinaison de processus de gravure et de cendres dans un seul outil. LAM RESEARCH Flex 45 est un procédé à chambre unique qui permet à la fois d'effectuer des gravures et des cendres en même temps. La combinaison de processus de gravure et de cendres dans la même chambre permet des produits de meilleure qualité qui nécessitent moins d'étapes de fabrication. Ce procédé de gravure et de cendres de haute précision est conçu pour maximiser le débit, minimiser les temps de cycle et minimiser l'entretien. Flex 45 est conçu pour permettre de traiter plusieurs plaquettes en parallèle, sans qu'il soit nécessaire de transférer des plaquettes d'une station à l'autre. La conception de LAM RESEARCH Flex 45 comprend deux systèmes de plateaux de quartz qui se déplacent dans des directions opposées. Cet équipement à deux plateaux contribue à améliorer la répétabilité en minimisant la déformation et le désalignement des plaquettes. Le système de plateaux permet également de minimiser la production de particules. Flex 45 etcher/asher est équipé d'un logiciel avancé de contrôle et de surveillance des processus. Ce logiciel se compose d'une unité embarquée de collecte de données en temps réel qui permet un ajustement automatique ou manuel des paramètres pour optimiser les conditions de processus. Le logiciel comprend également une machine de surveillance des espèces à bord pour aider à évaluer comment les différents processus Etch et Ash sont affectés par différentes conditions de processus. LAM RESEARCH Flex 45 est conçu pour gérer en toute sécurité les charges thermiques élevées, telles que la gravure profonde des plaquettes. Il supporte également un large éventail de matériaux, y compris différents types de céramique, aluminium, et titane. Il est également capable de manipuler des surfaces avec des dépôts sur elles, tels que des métaux, des diélectriques et des matériaux électroluminescents. Flex 45 est capable de fournir des processus de gravure/cueillette répétables et uniformes avec un débit rapide. Il a également une conception d'outil robuste pour minimiser la maintenance et augmenter la productivité.