Occasion LAM RESEARCH Flex 45 #9281284 à vendre en France

LAM RESEARCH Flex 45 est un graveur/asher PECVD pour diverses applications de semi-conducteurs. Ce graveur/asher très avancé offre des capacités de processus à haute résolution avec un contrôle de précision sur la taille, l'uniformité et l'anisotropie. La chambre Flex 45 est équipée d'un isolant source-drain plat et d'une chambre à vide élevé. La chambre est conçue pour réduire la dérive du procédé et optimiser l'uniformité du substrat, permettant au processeur d'atteindre des niveaux de performance plus élevés. LAM RESEARCH Flex 45 offre une gamme de fonctionnalités et de fonctions qui peuvent être personnalisées pour répondre aux besoins exacts de chaque utilisateur. Le chauffe-substrat réglable et le régulateur de débit massique avancé (MFC) permettent des procédés de silicium multicristallin à double couche. Cela permet d'optimiser le processus pour des résultats de haute qualité avec un minimum de saignement photorésist et une absorption dopante minimale. La fonction de maintenance préventive intégrée aide à réduire les temps d'arrêt et assure que le système subit un entretien régulier pour prévenir les erreurs de processus. Flex 45 dispose également d'une variété de caractéristiques de sécurité, telles que l'arrêt automatique du processus lors de l'ouverture de la chambre, l'arrêt de la porte d'urgence et les limites de température. Cela permet de minimiser les erreurs de processus et d'assurer la sécurité des utilisateurs. LAM RESEARCH Flex 45 est alimenté par un module de contrôle des semi-conducteurs haut de gamme (SCM). Ce contrôleur avancé surveille et ajuste les recettes de gravure en temps réel, tout en fournissant des capacités de rapport avancées et la traçabilité du processus de gravure. Flex 45 est conçu pour offrir un débit maximum et une uniformité supérieure avec un temps d'arrêt minimal et une qualité de processus exceptionnelle. Il est idéal pour la production en grand volume de dispositifs semi-conducteurs, fournissant des résultats économiques et fiables pour un large éventail de technologies.